Wie man einen Reinraum der Klasse 100 wirklich sauber hält
Wenn man ein Substrat in einem Reinraum der Klasse 100 erhitzt, gibt es keinen Platz für Fehler. Schon eine winzige Staubpartikel oder ein Hauch an Gasen können dazu führen, dass die ganze Charge unbrauchbar wird.
Das Problem ist, dass die meisten herkömmlichen Infrarotlampen ziemlich unzuverlässig sind. Sie geben mikroskopisch kleine Partikel ab oder setzen schädliche flüchtige organische Verbindungen frei, sobald sie erwärmt werden. Wir haben eine Lösung gefunden: Wir verwenden synthetischen Quarz von höchster Reinheit.
Warum synthetischer Quarz wichtig ist
Wir haben auf natürlichen Quarz verzichtet und stattdessen hochreinen synthetischen Siliziumdioxid verwendet. Natürlicher Quarz enthält Spurenelemente, die bei hoher Temperatur an die Oberfläche wandern. Das bedeutet im Grunde, dass die Lampe „raucht“ – was für die Wafer katastrophal ist.
Um das zu verhindern, durchlaufen unsere UHP-Lampen einen intensiven chemischen Reinigungsprozess, damit jede letzte Verunreinigung beseitigt wird. Dadurch entsteht eine starke Heizleistung – ohne Kontamination. Die Linsen bleiben klar, und die Wafer bleiben unbeschädigt.
Das Geheimnis liegt im Verschluss
Bei den meisten Lampen versagt der Verschluss. Viele Hersteller verwenden organische Klebstoffe, doch diese geben bereits bei Betriebstemperatur Gase ab. Wir tun das nicht. Stattdessen verwenden wir Verschlüsse aus Glas und Metall, die das Halogengas im Inneren der Lampe halten und die Außenwelt ausschließen. Wir können die Anschlüsse so anpassen, dass sie in jeden vorhandenen Rahmen passen – doch die eigentliche Magie liegt in der Chemie innerhalb der Lampe.
Ein paar Warnungen
Synthetischer Quarz ist zwar chemisch inerte, doch er ist sehr empfindlich gegenüber Oberflächenölen. Wenn das Personal die Lampe mit bloßen Händen berührt, können Salze und Öle aus der Haut zu „heißen Punkten“ führen. Diese Punkte verursachen thermischen Stress – und letztendlich wird die Lampe beschädigt. Das wollen Sie sicherlich vermeiden. Stellen Sie sicher, dass alle personelement lintfreie Handschuhe tragen und die Lampen mit Isopropanol reinigen.
Achten Sie auch auf die Kühlung. Da diese Lampen für extreme Präzision konzipiert sind, ist die Energieabgabe sehr hoch. Überprüfen Sie daher unbedingt Ihre Kühllüfter oder Wasserkühlsysteme. Wenn das Gehäuse überhitzt, haben Sie ein Problem.