在加热晶圆时，如何保持温度适中且确保安全？
在化学清洗区域加热晶圆时，其实就像在走钢丝一样。需要足够的热量来完成加热任务，但若热量过大，则容易导致燃烧风险。在易燃溶剂附近使用普通红外线灯不仅危险，还会带来安全隐患。
为了解决这个问题，我们采取了两种方法：一是使用专门的封装结构，二是精确计算安全距离。我们的目标很简单——确保灯体表面不会达到足以引发气体燃烧的温度。
封装结构
我们不会简单地将石英管放入其中，然后寄希望于它能够正常工作。实际上，我们的灯体被置于密封的外壳中，这样可以防止有害的腐蚀性气体接触到电气元件。如果灯体发生破损，封装结构还可以防止内部的卤素气体与周围的化学物质发生反应。
此外，我们还在高品质的石英材料上涂覆了特殊的涂层，这样可以将辐射能量引导到正确的位置，避免机器外壳过热。
安全距离的计算
确定安全距离并非凭猜测，而是基于灯的功率以及化学品的闪点来计算的。必须确保灯体表面的温度远低于清洁剂的临界温度。我们通常建议保留一定的空间，以便空气能够流通。
不过，有一种诱惑力——那就是让灯更靠近晶圆，从而加快加热速度。但不要这么做，因为那样会导致机器外壳过热。如果这样做的话，就需要更大的冷却风扇来散发热量。
权衡取舍
高功率的短波灯虽然加热速度快，但会产生强烈的热点。在易爆环境中，过高的功率是非常危险的。为了确保安全，我们往往愿意牺牲一些速度，而选择更大的尺寸或经过特殊设计的反射器，以此来分散热量。当然，这样处理后，处理时间可能会有所增加，但这总比让整个洁净室爆炸要好得多。