防止碎片飞溅：在红外干燥过程中保持晶圆洁净
如果你从事MEMS传感器的生产，那么你一定知道，干燥阶段是容易出现问题的环节。想象一下：当红外灯在高压下工作时，玻璃碎片和钨丝可能会飞溅出来，从而损坏晶圆。这简直就是一场噩梦。一旦某只灯泡爆炸，不仅会损坏单个部件，还会导致整批晶圆报废。
我们花了大量时间来寻找防止这种情况发生的方法。
灯泡为何会失效
通常，灯泡失效的原因是热应力或石英中的杂质。为了解决这个问题，我们会使用高纯度的合成石英材料。这样可以让热量更均匀地分布在灯泡内部。此外，我们还会特别注意灯丝的定位问题。如果灯丝的位置稍有偏差，就容易出现“热点”，从而导致石英软化、变弱，最终无法继续工作。
建立防护措施
为了防止碎片损坏晶圆，我们不能仅仅依靠运气。我们会为灯泡加上保护性的石英套管或抗碎裂涂层。这相当于一个物理屏障——如果内部的卤素灯出现故障，外壳可以阻挡所有碎片，确保晶圆保持洁净。另外，我们还会使用加固过的端盖和连接器，以防止电弧现象的发生。电弧现象不仅会破坏灯泡，还会让金属粉尘散布在整个干燥室中。
权衡利弊
高密度的红外加热其实是一种权衡。当然，你可以提高功率以加快干燥速度，但那样做会让石英更接近其承受极限。这时，冷却风扇就显得非常重要了。必须确保冷却风扇能够有效降低温度，否则热量会在密封处积聚，导致灯泡过早损坏。
我们所设计的设备是为24/7全天候运行而打造的。这样不仅能获得所需的红外加热效果，还能确保高产量，因为各种杂质不会进入生产流程中。