Trên bàn ướt, những gradient nhiệt độ do rửa tạo ra là loại yên tĩnh - loại mà lặng lẽ làm giảm năng suất. Các bộ gia nhiệt tiêu chuẩn không thể làm khô các tấm wafer một cách sạch sẽ mà không để lại các giọt ở cạnh hoặc làm căng thẳng lớp photoresist. Khi độ đồng nhất nhiệt độ trôi dạt, dây chuyền dừng lại. Thế thôi.
Kiểm soát nhiệt độ dưới milimet với gia nhiệt hồng ngoại
Chúng tôi đã xây dựng các bóng đèn hồng ngoại chống thấm nước cho giai đoạn rửa xung quanh sóng hồng ngoại ngắn, vì vậy lĩnh vực nhiệt được kiểm soát xuống đến quy mô dưới milimet. Dải phát ra được điều chỉnh để phản hồi nhanh và các hồ sơ nhiệt độ có thể lặp lại, giữ cho độ đồng nhất ở cấp độ wafer trong khoảng ±0.1°C trên bề mặt hoạt động. Đây không phải là con số trong phòng thí nghiệm - nó đến từ việc kiểm soát đầu ra quang phổ, khoảng cách chính xác giữa bóng đèn và wafer, và quản lý nhiệt độ theo vòng kín.
Trong thế giới thực, điều đó có nghĩa là các điều kiện nướng mềm và nướng cứng của bạn vẫn giữ ổn định, ngay cả sau một chu trình rửa mạnh mẽ. Không có bất ngờ nào cho lớp photoresist.
Tại sao nó hiệu quả trong công việc rửa bán dẫn
Trong quá trình chuyển tiếp từ rửa sang khô, bóng đèn vẫn chống nước đúng nơi cần thiết, vì vậy bạn không phải lo lắng về điện trong khi làm nóng wafer trực tiếp. Năng lượng được cung cấp đúng nơi bạn muốn, với ít nhiệt phát sinh hơn từ các thiết bị và không khí trong phòng sạch xung quanh.
Lợi ích: thời gian khô ngắn hơn, giảm sự sinh ra hạt bụi, và kiểm soát kích thước quan trọng ổn định. Biến động ngân sách nhiệt giảm, lượng phế phẩm giảm, và dây chuyền tiếp tục hoạt động. Những thiết bị này hoạt động hơn 5,000 giờ với mức giảm công suất dưới 5%, điều mà bạn cần cho hoạt động 24/7.
Ghi chú lắp đặt và vận hành
Dung sai lắp đặt rất chặt chẽ - giữ cho độ thẳng hàng của bóng đèn trong khoảng ±0.2 mm nếu bạn muốn duy trì độ đồng nhất. Bóng đèn hoạt động tốt nhất khi có nước khử ion; nếu đốt khô sẽ tạo ra các điểm nóng và rút ngắn tuổi thọ của bộ phát.
Bạn sẽ thấy một mức tiêu thụ năng lượng ban đầu cao hơn một chút khi khởi động, sau đó nó ổn định ở mức công suất trong vài giây. Trong các phòng sạch loại 1–100, hãy kết hợp bóng đèn với hệ thống thông gió và chắn bụi được chỉ định để giữ cho kiểm soát hạt bụi chặt chẽ và ổn định nhiệt độ ở nơi cần thiết.