На підлозі SEM нестабільна платформа зразка або нестабільний профіль запікання фоторезисту непомітно знижуватимуть ваш вихід продукції. Температурні відхилення, які здаються незначними на індикаторі, перетворюються на похибки у ширині лінії та артефакти заряджання, що проявляються через кілька годин. Ми розробили наші інфрачервоні нагрівачі для SEM, щоб усунути цей дрейф у самому джерелі.
Що має значення з технічної точки зору
Ми використовуємо короткохвильове інфрачервоне випромінювання для створення субміліметрового теплового поля з високою рівномірністю по активній зоні. Практично це означає керування температурою на рівні вафера в межах вузького діапазону — що забезпечує повторюваність профілів м’якого та твердого запікання без гарячих точок та недозапікання на краях. Відповідь система дає швидко, тому при зміні заданих значень вона оперативно стабілізується і підтримує повторюваність від циклу до циклу. Пристрій призначений для використання у чистих приміщеннях, матеріали і конструкція мінімізують утворення часток.
Чому це працює в суміжних з літографією процесах інспекції та метрології
Термічна історія має бути стабільною. Стабільний, рівномірний тепловий профіль знижує варіабельність CD, покращує повторюваність зображень і зменшує відсів через теплову нерівномірність. Скорочуються часи прогріву, зменшується кількість повторних запікань, що дозволяє планувати цикли виробництва. Енергоспоживання знижується, оскільки нагрівач ефективно досягає та підтримує задану температуру, а надійність розрахована на безперервну роботу 24/7 з меншим числом аварійних зупинок.
Що потрібно знати наперед
Встановлення залежить від сумісності з платформою та наявності зазору. Нагрівач повинен точно вирівнюватися по площині зразка, щоб зберегти рівномірність теплового профілю. Очікуйте швидкий етап введення в експлуатацію, що включає налаштування емісії та швидкості сканування відповідно до конкретного складу зразка. Після вирівнювання система працює з мінімальним обслуговуванням, проте у разі змін у геометрії платформи або покриттях потрібна повторна верифікація теплової карти.