
รักษาความสะอาดไว้อย่างสมบูรณ์แบบ: การให้ความร้อนโดยไม่มีมลพิษ
ลองนึกถึงห้องที่มีความสะอาดสูง ซึ่งแม้แต่ฝุ่นเพียงเม็ดเดียวก็อาจก่อให้เกิดปัญหาได้ นั่นคือสภาพแวดล้อมในการผลิตชิปเซมิคอนดักเตอร์จริงๆ
ดังนั้น เมื่อจำเป็นต้องใช้ความร้อนในสภาพแวดล้อมดังกล่าว ตัวเครื่องทำความร้อนเองก็ไม่ควรกลายเป็นต้นเหตุของปัญหา นั่นคือเหตุผลที่เราออกแบบหลอดอินฟราเรดแบบควอตซ์ให้เป็นระบบที่ปิดสนิท โดยหลอดนี้จะสามารถให้ความร้อนได้อย่างมีประสิทธิภาพ โดยไม่มีฝุ่นหรือก๊าซใดๆ หลุดออกมาเลย
กำลังไฟฟ้าและขนาดที่เหมาะสมสำหรับเครื่องจักรจริง
เราออกแบบหลอดเหล่านี้ให้เหมาะกับพื้นที่จำกัด และสามารถใช้ร่วมกับอุปกรณ์ที่มีอยู่แล้วได้ หลอดหนึ่งเครื่องมีกำลังไฟฟ้า 400 โวลต์ 2500 วัตต์ โดยมีขนาดเพียง 300 มิลลิเมตรเท่านั้น
ด้วยขนาดดังกล่าว หลอดนี้จะสามารถให้ความร้อนได้อย่างมากในพื้นที่ขนาดเล็ก ทำให้สามารถเพิ่มอุณหภูมิได้อย่างรวดเร็วเมื่อจำเป็น กำลังไฟฟ้า 400 โวลต์นั้นไม่ใช่เรื่องบังเอิญ เพราะหมายความว่าหลอดนี้สามารถเชื่อมต่อกับแหล่งจ่ายไฟมาตรฐานได้เลย ทำให้ไม่จำเป็นต้องใช้หม้อแปลงไฟขนาดใหญ่เพื่อลดแรงดันไฟฟ้า
หัวใจของหลอดที่มีคุณภาพสูง
ส่วนประกอบหลักของหลอดคือควอตซ์ที่มีความบริสุทธิ์สูง ต่างจากโลหะ ควอตซ์จะไม่เกิดปฏิกิริยาทางเคมีแม้ในอุณหภูมิสูงมาก ดังนั้นจึงไม่เกิดการออกซิเดชันหรือการสร้างฝุ่นใดๆ ขึ้นมา
ภายในหลอด มีเส้นใยอินฟราเรดที่สามารถปล่อยพลังงานได้อย่างรวดเร็ว และเรายังใช้ตัวเชื่อมต่อแบบ R7s เพื่อปิดผนึกหลอดให้แน่นหนา ทำให้ตำแหน่งของหลอดคงที่ และไม่มีโอกาสที่หลอดจะบิดหรือแตกได้
การใช้งานในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์: การใช้งานที่ง่ายและไม่มีข้อจำกัด
สำหรับการให้ความร้อนในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ระบบจะต้องเป็นระบบที่สะอาดและใช้งานได้ง่าย พร้อมทั้งสามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ ควอตซ์มีคุณสมบัติที่ดีในการทนต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างรวดเร็ว ดังนั้นจึงสามารถรองรับการเปิด/ปิดหลอดได้อย่างรวดเร็วตามความต้องการของกระบวนการผลิต
นอกจากนี้ เนื่องจากอินฟราเรดสามารถให้ความร้อนโดยตรงกับวัตถุที่ต้องการทำความร้อน จึงทำให้มีการเคลื่อนที่ของอากาศน้อยลง ซึ่งช่วยให้ไม่มีฝุ่นหรือสิ่งสกปรกเกิดขึ้นได้
ด้วยกำลังไฟฟ้าขนาดนี้ หลอดจึงสามารถให้ความร้อนได้อย่างมากในพื้นที่ขนาดเล็ก ดังนั้นระบบระบายความร้อนของเครื่องจักรจึงต้องมีประสิทธิภาพสูงด้วย นั่นคือวิธีที่เราสามารถควบคุมความร้อนไว้ในตำแหน่งที่ต้องการ และไม่ให้มีสิ่งสกปรกเข้ามาได้เลย