บนพื้นผิวหิน การอบฟิโลเรสิสต์นั้นไม่ใช่ขั้นตอนที่สามารถลดรายละเอียดได้เลย การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิเพียง 1°C ในช่วงการอบก็อาจส่งผลให้ค่า CD เปลี่ยนแปลงไป และทำให้รูปร่างของผนังด้านข้างเปลี่ยนไปด้วย นอกจากนี้ เมื่อวีเวอร์เผชิญกับความไม่สม่ำเสมอของอุณหภูมิ ก็จะส่งผลเสียตามมา เช่น อัตราการผลิตลดลง ต้องทำการแก้ไขใหม่ หรือวีเวอร์ทั้งหมดต้องถูกทิ้งไป เราจึงออกแบบเครื่องทำความร้อนแบบเลเซอร์ไดโอดของเราให้สามารถควบคุมอุณหภูมิของวีเวอร์ไว้ในช่วง ±0.1°C เพราะนั่นคือขีดจำกัดที่กระบวนการผลิตสามารถรับได้
สิ่งที่สำคัญจริงๆ เราใช้เลเซอร์ไดโอดแบบ NIR พร้อมระบบควบคุมแบบลูปปิด เพื่อให้ความร้อนกระจายไปอย่างรวดเร็วและเฉพาะจุด โดยไม่ทำให้วีเวอร์ร้อนเกินไป ผลลัพธ์คืออุณหภูมิจะสม่ำเสมออยู่ในช่วง ±0.1°C และมีความสามารถในการทำซ้ำได้ในช่วง ±0.05°C ระหว่างแต่ละชุดวีเวอร์ นอกจากนี้ แพลตฟอร์มนี้ยังถูกออกแบบมาให้ใช้งานได้ในห้องสะอาดระดับ Class 1 ถึง Class 100 โดยมีการเลือกวัสดุและการปรับพื้นผิวเพื่อให้ไม่มีฝุ่นเกิดขึ้นในช่วงการอบและการทำให้วีเวอร์เย็นลง อัตราการจ่ายพลังงานก็คงที่ตลอดเวลา เรามีอุปกรณ์ที่สามารถทำงานได้นานกว่า 5,000 ชั่วโมง โดยมีการลดลงของกำลังการผลิตน้อยกว่า 5%
ทำไมสิ่งนี้ถึงสำคัญในกระบวนการอบฟิโลเรสิสต์ ความแม่นยำของอุณหภูมิมีผลต่อการกำจัดตัวทำละลาย การเชื่อมต่อระหว่างโมเลกุล และความสามารถในการต้านทานการกัดกร่อน ด้วยเครื่องทำความร้อนแบบเลเซอร์ไดโอด คุณสามารถควบคุมอุณหภูมิในแต่ละขั้นตอนได้อย่างแม่นยำ ทำให้ค่า CD ลดลง และความขรุขระของขอบเส้นก็สามารถควบคุมได้ นอกจากนี้ ยังช่วยให้ระยะเวลาการอบสั้นลง เนื่องจากการตอบสนองทางอุณหภูมิที่รวดเร็ว การใช้พลังงานก็ลดลง เพราะอัตราการจ่ายพลังงานมีความแม่นยำ และยังช่วยลดความจำเป็นในการบำรุงรักษาอีกด้วย อุปกรณ์นี้สามารถนำมาใช้ร่วมกับโมดูลการเคลือบ/การอบที่มีอยู่ได้เลย ทำให้คุณสามารถควบคุมกระบวนการผลิตได้อย่างมีประสิทธิภาพ
สิ่งที่คุณต้องเตรียมไว้ การติดตั้งนั้นเกี่ยวข้องกับการปรับให้เส้นทางแสงอยู่ในตำแหน่งที่เหมาะสม และต้องตรวจสอบความเข้ากันได้ของระบบระบายอากาศและระบบทำความเย็นด้วย เครื่องทำความร้อนจะทำงานได้ดีที่สุดเมื่อสภาพด้านหลังของวีเวอร์มีความสม่ำเสมอ ไม่ว่าจะเป็นฟิล์ม คราบสกปรก หรือความผิดรูปของวีเวอร์ ซึ่งล้วนส่งผลต่อการถ่ายเทความร้อน คุณควรกำหนดค่าเหล่านี้ไว้ในสูตรการผลิตด้วย นอกจากนี้ ควรมีการทดสอบการทำงานสั้นๆ เพื่อวัดค่าอุณหภูมิและปรับระบบควบคุมให้เหมาะสมกับอัตราการผลิตของคุณ