บนพื้น SEM แพลตฟอร์มตัวอย่างที่ลอยหรือโปรไฟล์การอบฟิล์มฟอตโต้เรซิสต์ที่ไม่เสถียรจะทำให้ผลผลิตของคุณลดลงอย่างเงียบ ๆ อุณหภูมิที่เปลี่ยนแปลงซึ่งดูเล็กน้อยในข้อมูลแสดงผลจะกลายเป็นข้อผิดพลาดของความกว้างของเส้นและอาร์ติแฟกต์การชาร์จที่ปรากฏขึ้นในภายหลัง เราได้สร้างเครื่องทำความร้อนแบบอินฟราเรดสำหรับ SEM ของเราเพื่อตัดปัญหานี้ที่ต้นเหตุ สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค เราใช้คลื่นอินฟราเรดระยะสั้นเพื่อสร้างสนามความร้อนที่มีความหนาแน่นต่ำกว่า 1 มม. โดยมีความสม่ำเสมออย่างเข้มงวดทั่วทั้งโซนที่ใช้งาน ในทางปฏิบัติ นั่นหมายถึงการควบคุมอุณหภูมิในระดับเวเฟอร์ที่อยู่ในช่วงที่แน่นหนา—ดังนั้นโปรไฟล์การอบนุ่มและการอบแข็งของคุณจะสามารถทำซ้ำได้โดยไม่มีจุดร้อนหรือขอบที่อบไม่ถึง การตอบสนองรวดเร็ว ดังนั้นเมื่อคุณเปลี่ยนจุดตั้งค่า ระบบจะปรับตัวเร็วและรักษาความสามารถในการทำซ้ำได้ในแต่ละรอบ มันถูกออกแบบมาสำหรับการใช้งานในห้องสะอาด ด้วยวัสดุและการก่อสร้างที่ช่วยลดการสร้างอนุภาค ทำไมสิ่งนี้จึงใช้ได้ผลในงานตรวจสอบและการวัดที่เกี่ยวข้องกับลิโธกราฟี ประวัติความร้อนต้องสอดคล้องกัน โปรไฟล์ความร้อนที่เสถียรและสม่ำเสมอลดความแปรผันของ CD ปรับปรุงความสามารถในการทำซ้ำของภาพ และลดของเสียที่เกิดจากความไม่สม่ำเสมอทางความร้อน คุณจะได้รับช่วงเวลาการอุ่นเครื่องที่สั้นลง การอบใหม่ที่น้อยลง และเวลารอบที่คุณสามารถวางแผนได้ การใช้พลังงานลดลงเพราะเครื่องทำความร้อนสามารถถึงจุดตั้งค่าและรักษาไว้ได้อย่างมีประสิทธิภาพ และความเชื่อถือได้ถูกออกแบบมาสำหรับการทำงาน 24/7 โดยมีการหยุดชะงักที่ไม่คาดคิดน้อยลง สิ่งที่คุณต้องรู้ล่วงหน้า การติดตั้งขึ้นอยู่กับความเข้ากันได้ของแพลตฟอร์มและระยะห่าง เครื่องทำความร้อนต้องจัดตำแหน่งอย่างแม่นยำกับระนาบตัวอย่างเพื่อรักษาโปรไฟล์ความสม่ำเสมอให้สมบูรณ์ คาดว่าจะมีขั้นตอนการเปิดใช้งานที่รวดเร็วเพื่อปรับค่าการปล่อยและความเร็วในการสแกนสำหรับสแต็กตัวอย่างเฉพาะของคุณ เมื่อจัดตำแหน่งแล้ว จะทำงานด้วยการบำรุงรักษาต่ำสุด แต่หากคุณเปลี่ยนรูปร่างของแพลตฟอร์มหรือการเคลือบใด ๆ คุณจะต้องตรวจสอบแผนที่ความร้อนอีกครั้ง