На этапе литографии мы оба знаем, что процедуры прокаливания не сводятся лишь к термическим процессам – они также влияют на качество изделий. Изменение температуры на 2°C во время мягкого прокаливания сразу же приводит к изменениям в характеристиках пластины. А вот точки с высокой температурой во время жесткого прокаливания – это скрытые причины снижения качества пластины. Мы разработали специальную лампу для контролируемого прокаливания, чтобы устранить такую нестабильность.
Что действительно важно Лампа использует коротковолновый инфракрасный свет в кварцевом корпусе; это позволяет достичь быстрого нагрева поверхности без перегрева. В зоне прокаливания мы поддерживаем однородность температуры на уровне ±0,1°C. Также контролируется повторяемость процесса для каждой партии продукции. Атмосфера в помещении контролируется, поэтому профиль прокаливания остается стабильным, независимо от того, используется ли азот, сухой воздух или смесь с уменьшенным содержанием кислорода.
Система работает в чистой комнате класса 1–100; модуль лампы не создает никаких частиц, что подтверждается измерениями количества частиц в реальном времени. Тепловая система рассчитана на круглосуточную работу, а стабильность её работы контролируется в течение более 5 000 часов.
Почему это важно в процессе обработки фоторезиста Точность контроля температуры определяет, будет ли продукт нуждаться в доработке или может быть отправлен клиенту. Это позволяет лучше контролировать параметры пластины, снижать количество дефектов и обеспечивать предсказуемость толщины слоя после прокаливания. Процесс становится более эффективным, так как тепловые факторы больше не влияют на качество продукта.
Также снижается потребление энергии: температура быстро достигает заданного значения и остается стабильной без колебаний. Кроме того, сокращается время простоя, так как модуль работает стабильно, без неожиданных сбоев. Замена модуля происходит на основе данных, а не интуиции.
Что необходимо учесть при планировании Лампе требуется отдельное питание и подача газа, соответствующие размерам и интерфейсу устройства. Установка происходит просто, но необходимо перепроверять параметры прокаливания каждый раз, когда меняется размер пластины, состав фоторезиста или сам процесс прокаливания. Ожидается короткий период настройки для определения параметров и проверки однородности качества продукции.