На производственном участке запекание фоторезиста — это не просто очередной этап. Это ключевой процесс. Одно отклонение температуры, одно попадание частиц — и можно потерять много пластин. Мы создали кварцевый стеклянный экран для ламп на фабрике, чтобы этот «ворота» оставались закрытыми смену за сменой.
Что важно внутри
Используется высокочистый плавленый кварц, выбранный за стабильную пропускную способность в коротковолновом и средневолновом ИК-диапазоне, а также за низкий выход газов — минимальное выделение веществ в воздухе чистой зоны. Экран обеспечивает стабильность мощности ламп при защите нити накала и оптики от смещений покрытия и попадания частиц. По поверхности пластины сохраняется высокая тепловая однородность, что позволяет выдерживать заданные окна мягкого и жёсткого запекания с повторяемым контролем профиля. Работает в средах класса чистоты от 1 до 100 без увеличения числа частиц и выдерживает быстрые термоциклы без образования микротрещин.
Почему его выбирают для ячейки литографии с режимом 7×24
Незапланированные остановки ламп нарушают планирование и повышают количество брака, за которое приходится бороться. Этот экран исключает один из основных факторов отказа. Результат: отсутствие внеплановых простоев, продление срока службы ламп и стабильность температур запекания в пределах спецификаций из цикла в цикл. Меньше замен ламп. Стабильные критические размеры. И снижение себестоимости на пластину. Также экономится электроэнергия за счёт поддержания высокой эффективности сопряжения и снижения тепловых потерь.
Детали, обеспечивающие надёжность
Установка должна точно соответствовать геометрии лампы и рефлектора. Даже отклонение в несколько миллиметров может создать горячие зоны и нарушить однородность. Перед модернизацией необходимо проверить тип разъёма, размеры колбы лампы и направление охлаждающего потока. Обращайтесь с кварцевой поверхностью аккуратно — протирайте только инструментами и растворителями, одобренными для чистых помещений. Царапины рассеивают свет и быстро ухудшают однородность. При правильном подборе лампы и технологического процесса экран работает постоянно без плановой замены, требуется только регулярная проверка чистоты.