Por que mudamos para aquecimento por IR nos sensores de hidrogênio?
Fabricar sensores de hidrogênio é uma tarefa delicada. É preciso que o catalisador fique firme no seu lugar e que a membrana permaneça intacta. Isso significa que os níveis de calor devem ser precisos. Por muito tempo, todos usaram aqueles fornos resistentivos tradicionais. Mas, para ser honesto, eles são inúteis. Acaba-se aquecendo toda a câmara cheia de ar, só para aquecer um pequeno sensor.
É por isso que passamos a usar lâmpadas de infravermelho de onda curta. Em vez de aquecer todo o ambiente, a energia vai direto para o substrato. A velocidade é tudo aqui. Em uma fábrica, não se quer esperar que o forno esquente. Nossos sistemas de infravermelho conseguem atingir as temperaturas desejadas em segundos, não em minutos. Como o calor vai diretamente aos materiais, a sala limpa não se torna uma “sauna”. Tudo funciona perfeitamente.
Agora, vamos falar sobre o hardware. Usamos elementos de quartzo-halógeno. O quartzo é ótimo porque não se deforma quando fica quente, e o halogênio evita que as lâmpadas queimem rapidamente.
Uma observação importante: esses dispositivos consomem muita energia. Se você os conectar à rede elétrica normal, verifique bem as fontes de alimentação e os ventiladores de refrigeração. Não queremos que os equipamentos de controle queimem durante um processo de produção prolongado. Isso seria um grande problema.
Além disso, há ainda o aspecto ambiental. Se você quer alcançar a neutralidade de carbono, o uso de infravermelho é a solução ideal. Os fornos convencionais são, basicamente, grandes fontes de desperdício de energia; eles fazem com que o sistema de ventilação trabalhe mais do que o necessário para manter o ambiente fresco. As lâmpadas de infravermelho só consomem energia quando são acionadas. Observamos uma redução real e mensurável no consumo de energia por wafer.
A única dificuldade é encontrar a distância exata entre a lâmpada e o sensor. Se a lâmpada estiver muito perto, haverá pontos quentes que podem danificar o sensor. Se estiver muito longe, o tempo de ciclo aumenta. Mas, uma vez que se encontre a distância correta, teremos um sistema rápido, eficiente e mais amigo do planeta.