SEM 현장에서의 드리프트 샘플 스테이지 또는 불안정한 포토레지스트 베이크 프로파일은 조용히 수율을 감소시킵니다. 판독기에서 작아 보이는 온도 변동이 시간이 지나면서 선 폭 오류와 충전 아티팩트로 변해 나타납니다. 우리는 이러한 드리프트를 근본적으로 해결하기 위해 적외선 SEM 히터를 설계했습니다.
기술적으로 중요한 사항 우리는 짧은 파장의 적외선을 사용하여 활성 영역 전반에 걸쳐 밀리미터 이하의 열 필드를 균일하게 생성합니다. 실제적으로 이는 웨이퍼 수준의 온도 제어로 이어지며, 일정한 범위 내에서 유지됩니다. 따라서 소프트 베이크 및 하드 베이크 프로파일이 핫스팟이나 가장자리의 언더 베이킹 없이 반복됩니다. 반응 속도가 빠르므로 세트포인트를 변경할 때 시스템이 빠르게 안정되고 매번 반복성을 유지합니다. 클린룸 사용을 위해 설계되었으며, 입자 생성을 최소화하는 재료와 구조를 사용합니다. 리소그래피 인접 검수 및 계측에서의 작동 이유 열 이력은 일관성이 있어야 합니다. 안정적이고 균일한 열 프로파일은 CD 변동성을 줄이고, 이미지 반복성을 개선하며, 열 비균일성으로 인한 스크랩을 감소시킵니다. 더 짧은 워밍업 시간, 재베이크 횟수 감소, 그리고 계획할 수 있는 사이클 타임을 제공합니다. 에너지 사용량이 줄어드는 이유는 히터가 세트포인트에 도달하고 이를 효율적으로 유지하기 때문이며, 신뢰성은 24/7 운영을 위해 설계되어 있으며 예기치 않은 중단이 적습니다. 사전에 알아야 할 사항 설치는 스테이지 호환성과 간격에 따라 달라집니다. 히터는 균일한 프로파일을 유지하기 위해 샘플 평면과 정확히 정렬되어야 합니다. 특정 샘플 스택에 맞춰 방출율과 스캔 속도를 조정하기 위한 빠른 시운전 단계를 기대하십시오. 일단 정렬되면 최소한의 유지보수로 작동하지만, 스테이지 기하학이나 코팅을 변경하면 열 맵을 다시 확인해야 합니다.