100등급 클린룸을 항상 깨끗하게 유지하는 방법
100등급 클린룸을 운영한다면, 아시다시피 미세한 먼지 한 조각이나 가열 요소에서 나오는 화학물질들도 결코 무시할 수 없습니다. 이러한 것들은 치명적인 문제를 일으킬 수 있습니다. 웨이퍼가 손상되고, 생산 효율도 급격히 떨어집니다.
일반적인 가열 램프들은 이러한 상황에 적합하지 않습니다. 이런 램프들은 재료가 빠져나오거나 화학물질이 새어나오기 마련입니다. 우리는 고순도의 합성 석영을 사용함으로써 이 문제를 해결했습니다.
석영이 중요한 이유
고순도 석영을 사용하면, 저가형 유리에서 나타나는 “가스 방출” 현상이 발생하지 않습니다. 열을 세게 가해도 석영은 화학적으로 안정적입니다. 먼지가 달라붙을 만한 작은 구멍이나 거친 표면도 없습니다. 따라서 먼지가 숨을 곳이 없어서 항상 깨끗한 상태를 유지할 수 있습니다.
전력과 열
우리는 고출력 밀도를 위해 이 램프들을 설계했습니다. 고출력을 석영 커버 안에 집중시킴으로써 강력한 단파 적외선을 얻을 수 있습니다. 가장 좋은 점은, 전체 챔버를 오븐처럼 만들 필요 없이 목표물을 직접 가열할 수 있다는 것입니다.
하지만 주의해야 할 점이 있습니다. 전력 공급을 정확하게 조절해야 합니다. 필라멘트에 과도한 전력을 가하면 너무 빨리 손상될 수 있습니다. 반대로 전력이 부족하면 가열 속도가 느려져 생산 효율이 떨어집니다. 따라서 적절한 전력 조절이 매우 중요합니다.
실제 사용 시 고려사항
우리는 표준화된 커넥터를 사용합니다. 연결부가 느슨하면 문제가 생길 수 있습니다. 연결부가 느슨하면 아크가 발생하여 금속 연기가 나옵니다. 클린룸에서는 이런 것이 절대 피해야 합니다.
또한, 고순도 석영은 깨지기 쉽습니다. 열 충격에는 잘 견디지만, 떨어뜨리거나 너무 세게 누르면 즉시 깨질 수 있습니다. 따라서 부드러운 마운트를 사용해야 합니다. 게다가, 이 램프들은 엄청난 열을 발생시키므로, 케이스가 비틀리지 않도록 냉각 팬이 제대로 작동해야 합니다.
만약 공장을 업그레이드하고 “입자 없음”이 유일한 기준이라면, 이 램프들을 사용하면 됩니다.