まったく汚染のない加熱：ゼロコンタミネーション技術
ほんのわずかな塵さえも許されないクリーンルームを想像してみてください。それが半導体製造の現実です。
そのような環境で加熱が必要な場合、ヒーター自体が問題の原因になってはいけません。だからこそ、私たちは石英製の赤外線ランプを完全に密閉された構造で作り上げました。これにより、微粒子やガスを一切放出することなく、強力で集中した熱を供給できます。
実際の機械に適した出力とサイズ
これらのランプは、狭いスペースにも収まり、既存の機器とも連携して動作します。一般的な装置では、400V、2500Wの電力が300mmの管の中で利用されます。つまり、狭いスペースでも大量の熱が得られるため、プロセスが要求するときに迅速に温度を上昇させることができます。400Vという電圧は偶然ではありません。これにより、ランプを標準的な工業用電源に直接接続でき、大きな降圧トランスを使う必要がありません。
クリーンルームグレードの核心部分
核心部分は高純度の石英です。金属とは異なり、石英は極端な高温下でも化学的に安定しているため、酸化したり微粒子を発生させたりすることはありません。内部では、短波長の赤外線フィラメントが迅速かつ正確にエネルギーを放出します。また、ランプ全体を特殊なR7sコネクタで密閉し、ランプが固定された状態に保たれます。これにより、隙間が正確に維持され、ランプが変形して石英が割れる危険性もありません。
半導体製造向け：即座に使用可能で妥協なし
半導体の加熱においては、温度を厳密に制御できる、シンプルで信頼性の高いシステムが求められます。石英製のケースは熱衝撃にも強く、バッチ処理で要求される急速なオン/オフの切り替えにも対応できます。また、赤外線は周囲の空気を温めるのではなく、直接対象物を加熱するため、空気の流れが少なくなり、微粒子が舞い上がるのを防ぎます。このような高いエネルギー密度により、300mmという小さなスペースに大量のエネルギーが詰め込まれます。そのため、機械の冷却や熱管理もしっかり行われなければなりません。こうして、熱を正確に望む場所に留め、汚染物質が近づくことを防ぎます。