במפלס המפעל, התקציב התרמי אינו קו מנחה – הוא גבול מוחלט. אם יש שינוי של מעלה אחת בחימום רך או בחימום קשה, הפרופיל של הפוטורזיסט משתנה. שליטת CD נוטה לסטות. שגיאת ההנחה עולה. די מהר, הקו אינו ממיין דיא טוב מהפסולת; הוא פשוט ממיין בעיות. מה שחשוב מתחת למכסה המנוע אנו מפעילים מנורת RTP זו בחימום הלוגן קצר גל דרך הרכבת חלון קוורץ. האנרגיה מחוברת ישירות למשטח הסיליקון, במהירות, עם מינימום אינרציה תרמית. זה נותן לנו אחידות ברמת המשטח שמוחזקת ב-±0.1°C לאורך חלון התהליך, וחזרתיות שנשארת בתוך טווח הסובלנות בין ריצה לריצה. המערכת מתאימה לחדר נקי עד לרמה Class 1–100, עם אפס ייצור חלקיקים – מאומת על ידי ניטור in-situ ונתיב מנורה/מראה sealed. הבקרה היא בלולאה סגורה, תוך שימוש בפיורומטריה מכוונת כדי לשמור על יציבות הנקודת הגדרה גם כאשר עומסי המצע משתנים. למה זה נשאר אמין בליתוגרפיה ומעבר לה מנורה זו בנויה סביב החתימות התרמיות שחשובות בליתוגרפיה ובשלבי החריטה שלאחר מכן. טמפרטורות החימום הרך והחימום הקשה נשמרות בקפדנות לאורך המשטח, כך שזרימת הפוטורזיסט, שליטת הגלים העומדים והתנהגות המידות הקריטיות נשארות צפויות. העלייה המהירה מקטינה את זמן הספיגה התרמית, מה שמגנה על סרטים בסיסיים ושומר על זרימת העבודה. צריכת החשמל אופטימלית מבלי לפגוע בתפוקה המקסימלית, ומודול המנורה מדורג לפעולה 24/7 ללא השבתות לא מתוכננות. בפועל, זה מתורגם לפחות מנות תיקון, פחות פסולת, ותפוקה שלא מתנדנדת. מה שעליך לתכנן המנורה משתלבת בפלטפורמות כלים סטנדרטיות של RTP, אך חלון הקוורץ והתקציב התרמי חייבים להתאים לגיאומטריית החדר ולעיצוב המראה. צפה לחלון קצוב של השקה כדי להשיג כיול פלטה ולבצע מיפוי אחידות עבור המתכונים הספציפיים שלך. ברגע שהיא מכוונת, המודול פועל כמקור תרמי שיכול להיכנס ולשכוח – עד לתחזוקה המתוכננת הבאה.