על השולחן הלח, אותם גרדיאנטים תרמיים שנגרמים מהשטיפה הם שקטים - כאלה ששקטים אוכלים את התשואה. מחממים סטנדרטיים פשוט לא יכולים לייבש את הווייפרים בצורה נקייה מבלי להשאיר טיפות קצה או להעמיס על הפוטו-רסיסט. כאשר האחידות התרמית משתנה, הקו עוצר. נקודה. שליטה תרמית בתת-מילימטר עם חימום אינפרא אדום בניתם את מנורות האינפרא אדום שלנו עמידות למים לשלב השטיפה סביב אינפרא אדום קצר גל, כך שהשדה התרמי נשלט עד לרמת תת-מילימטר. מערך המשדר מותאם לתגובה מהירה ופרופילים טמפרטוריים מדודים, שומר על אחידות ברמת הווייפר בתוך ±0.1°C על פני השטח הפעיל. זה לא מספר מעבדה - זה מגיע מפלט ספקטרלי מבוקר, מרחק מדויק בין המנורה לווייפר, וניהול תרמי במעגל סגור. בעולם האמיתי, זה אומר שהתנאים של האפייה הרכה והאפייה הקשה נשארים עקביים, אפילו לאחר מחזור שטיפה אגרסיבי. אין הפתעות על הפוטו-רסיסט. למה זה מחזיק בעבודת שטיפת חצי מוליכים במהלך המעבר משטיפה לייבוש, המנורה נשארת עמידה למים בדיוק איפה שהיא צריכה להיות, כך שאין לך חששות חשמליים בזמן חימום הווייפר ישירות. האנרגיה נוחתת היכן שאתה רוצה אותה, עם הרבה פחות חימום פסיבי של אביזרים ואוויר חדר הניקיון הסובב. התוצאה: זמני ייבוש קצרים יותר, ייצור חלקיקים נמוך יותר, ושליטה יציבה בממדי קריטיים. משתנה התקציב התרמי פוחת, פסולת פוחתת, והקו ממשיך לנוע. יחידות אלו פועלות יותר מ-5,000 שעות עם פחות מ-5% ירידה בתפוקה, שזה מה שאתה צריך לפעולה 24/7. הערות התקנה ותפעול סובלנות ההתקנה היא צפופה - שמור על יישור המנורה בתוך ±0.2 מ"מ אם אתה רוצה לשמור על אחידות. המנורה פועלת בצורה הטובה ביותר עם מים דה-יוניים; הפעלת ייבוש תיצור “נקודות חמות” ותצמצם את חיי המשדר. תראה משיכה אנרגטית מעט גבוהה יותר בהתחלה בזמן חימום, ואז זה מתייצב לכוח קבוע בתוך שניות. בחדרי נקיון מהדרגה 1–100, חבר את המנורה עם מערכת יניקה והגנה שצוינו לשם שמירה על שליטה בחלקיקים והבטחת יציבות תרמית היכן שהיא צריכה להיות.