Un environnement parfaitement propre : chauffage sans contamination
Imaginons une salle propre où même le moindre grain de poussière est inacceptable. C’est la réalité dans la fabrication de semi-conducteurs. Ainsi, lorsque l’on a besoin de chaleur dans cet environnement, le chauffage lui-même ne doit pas devenir une source de problèmes. C’est précisément pour cette raison que nous avons conçu nos lampes infrarouges en quartz comme des systèmes hermétiques et inerteux. Elles délivrent une chaleur intense et ciblée, sans émettre la moindre particule ni de gaz.
Puissance et taille adaptées aux machines réelles
Nous concevons ces lampes pour qu’elles puissent être utilisées dans des espaces restreints et fonctionner avec les équipements déjà existants. Une unité typique fonctionne à 400 V et 2500 W, et se trouve dans un tube de 300 mm. Cela permet d’obtenir une grande quantité de chaleur dans un espace restreint, ce qui favorise une montée rapide de la température lorsque c’est nécessaire. La tension de 400 V n’est pas fortuite : cela signifie que la lampe peut être connectée directement à l’alimentation industrielle standard, sans avoir besoin d’utiliser de transformateurs complexes.
Un cœur de haute qualité, adapté aux salles propres
Le noyau de la lampe est constitué de quartz de haute pureté. Contrairement aux métaux, le quartz reste chimiquement inerte, même à des températures extrêmes. Il ne s’oxyde donc pas et ne produit pas de particules. À l’intérieur, le filament infrarouge émet rapidement de l’énergie ciblée. Le tout est scellé grâce à un connecteur spécial R7s, ce qui garantit que la lampe reste fixe et stable. Ainsi, les espacements restent précis, et la lampe ne risque pas de se briser.
Pour la fabrication de semi-conducteurs : une solution idéale, sans compromis
Pour le chauffage des semi-conducteurs, le système doit être simple et fiable, tout en permettant un contrôle précis de la température. L’enveloppe en quartz résiste bien aux chocs thermiques, ce qui lui permet de suivre les cycles rapides d’allumage/éteignage nécessaires au traitement par lots. De plus, comme les rayons infrarouges chauffent directement la cible, sans chauffer l’air autour, il y a moins de mouvement d’air, ce qui évite que des particules ne s’envolent. Avec une telle densité énergétique, on obtient une grande quantité d’énergie dans un espace restreint. Par conséquent, le système de refroidissement et de gestion thermique de la machine doit être à la hauteur. C’est ainsi que nous pouvons maintenir la chaleur exactement là où elle est nécessaire, sans que les contaminants ne s’y trouvent.