Maintenir les choses au frais (et en sécurité) lors du chauffage des wafer
Lorsque vous chauffez des wafer dans une zone de nettoyage chimique, vous vous trouvez en quelque sorte sur une corde raide. Il faut suffisamment de chaleur pour effectuer le travail, mais si vous allez trop loin, vous risquez d’entraîner un incendie. Utiliser une lampe infrarouge à proximité de solvants inflammables n’est pas seulement risqué, c’est aussi dangereux.
Pour y remédier, nous nous concentrons sur deux éléments : une enveloppe spécialisée et des calculs précis concernant les distances de sécurité. L’objectif est simple : s’assurer que la surface de la lampe ne dépasse jamais la température à laquelle ces vapeurs pourraient s’enflammer.
L’enveloppe de protection
Nous ne mettons pas simplement un tube en quartz à l’intérieur, en espérant que tout se passera bien. Nos lampes sont entourées d’un revêtement hermétique et d’un boîtier protecteur. On peut voir cela comme un “garde-du-corps” qui protège les terminaux électriques des fumées corrosives. Et si la lampe venait à se briser ? L’enveloppe empêche le gaz halogène présent à l’intérieur de réagir avec les produits chimiques présents dans l’air.
Nous utilisons également un revêtement spécifique sur le quartz de haute qualité. Cela permet de diriger les rayons thermiques vers l’endroit où ils doivent être, plutôt que de chauffer le châssis de la machine.
Les distances de sécurité
Choisir la bonne distance de sécurité n’est pas une question de supposition. Cela dépend de la puissance de la lampe et du point d’inflammation des produits chimiques utilisés. Il faut donc choisir une distance telle que le revêtement extérieur reste bien en dessous de la température critique des produits de nettoyage. Nous recommandons généralement un espace suffisant pour permettre à l’air de circuler.
Le piège, c’est que l’on a tendance à placer la lampe plus près du wafer afin d’accélérer le processus. Ne faites pas cela : vous risquerez de surchauffer le boîtier de la lampe. Dans ce cas, il faudra utiliser des ventilateurs plus puissants pour évacuer la chaleur.
Le compromis
Les lampes à haute puissance sont rapides… vraiment rapides. Mais elles créent également des zones très chaudes. Lorsque l’on travaille dans une zone explosive, une telle puissance peut être dangereuse. Pour assurer la sécurité, nous préférons parfois sacrifier un peu de vitesse au profit d’un plus grand volume ou d’un réflecteur adapté. Ainsi, la charge thermique est mieux répartie. Bien sûr, le processus sera un peu plus lent, mais c’est bien mieux que de faire exploser la salle de nettoyage.