دیگر اجازه ندهید گرما هدر برود: چرا سیستمهای IR شما به بازتابندههای بهتری نیاز دارند
بیایید صادق باشیم: در کارخانههای تولید نیمههادی، گرمای اضافی در واقع پول و کربنی است که بیهوده از بین میرود. اگر سیستمهای لامپ IR شما گرما را به بدنه دستگاه منتقل کنند، در واقع در حال مبارزه با یک شکست قطعی هستید.
راهحل سادهتر از آنچه فکر میکنید است. شما میتوانید از بازتابندههای آلومینیومی برای جذب گرمای اضافی استفاده کنید؛ این کار باعث میشود گرما دوباره به سمت ویفر هدایت شود. به این ترتیب، میتوانید هزینههای برق خود را کاهش دهید و «کارخانه سبز» را به واقعیت تبدیل کنید، نه فقط به یک ایده تئوریک.
منطق این کار بسیار ساده است.
یک لامپ استاندارد، گرما را در تمام جهات – ۳۶۰ درجه – پخش میکند. بدون بازتابنده، نیمی از انرژی لامپ قبل از رسیدن به هدف، از بین میرود.
ما از آلومینیوم با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ زیرا این فلز در بازتاب تابشهای موج کوتاه و متوسط بسیار مؤثر است. وقتی یک لامپ کوارتز را با یک بدنه آلومینیومی با منحنیهای دقیق استفاده کنید، میتوانید انرژی از دست رفته را دوباره به دست آورید. در نتیجه، چگالی گرما روی سطح ویفر افزایش مییابد، بدون اینکه نیازی به افزایش توان لامپ باشد. این یک راهحل بسیار خوب است.
اما موضوع فقط مربوط به بازتاب گرما نیست.
آلومینیوم در انتقال گرما بسیار مؤثر است؛ این فلز گرما را از انتهای لامپ دور میکند، در نتیجه سوکتهای لامپ دچار آسیب نمیشوند. علاوه بر این، آلومینیوم سبک است؛ بنابراین در دماهای بالا تغییر شکل نمیدهد.
البته یک نکته مهم وجود دارد: آلومینیوم در برابر رطوبت و گازهای خورنده حساس است؛ این فلز اکسیده میشود. با گذشت زمان، این لایه نازک اکسید، بازتابپذیری آلومینیوم را کاهش میدهد. اگر متوجه شدید که کارایی لامپهایتان کاهش یافته، زمان آن رسیده که لامپها را تمیز کنید یا از روکشهای آنودایزه شده استفاده کنید.
در نهایت، اگر میخواهید به بیثباتی کربنی برسید، باید میزان «وات بر ویفر» را کاهش دهید.
وقتی جهتگیری بازتابندهها به درستی تنظیم شود، میتوانید دمای لامپ را کاهش دهید و در عین حال سرعت فرآیند تولید را در همان سطح نگه دارید.
و بهترین بخش این است که دمای کمتر، باعث میشود لامپها مدت زمان بیشتری کار کنند؛ همچنین، سیستمهای خنککننده کارخانه نیازی به کار بیشتر نخواهند داشت. این یک تغییر ساده اما مؤثر در سیستمهای مکانیکی است که به کاهش مصرف انرژی کمک میکند. واقعاً یک راهحل هوشمندانه است.