حفظ تمیزی اتاقهای کلاس ۱۰۰
وقتی که در یک محیط کلاس ۱۰۰، سطح یک ماده را گرم میکنید، هیچ جایی برای اشتباه وجود ندارد. حتی یک ذره خاک یا گازات ناخواسته، میتواند باعث خراب شدن کل محموله شود.
مشکل اینجاست که اکثر لامپهای مادون قرمز استاندارد، کمی کثیفکننده هستند؛ آنها در همان لحظهای که گرم میشوند، ذرات ریزی تولید میکنند یا گازات آلی فرار را آزاد میکنند. ما راهی برای حل این مشکل پیدا کردیم؛ از کوارتز مصنوعی با خلوص بسیار بالا استفاده کردیم.
چرا کوارتز مصنوعی مهم است؟
ما از کوارتز طبیعی استفاده نکردیم، بلکه از سیلیکا مصنوعی با خلوص بالا استفاده کردیم. کوارتز طبیعی دارای ناخالصیهای فلزی است که در هنگام گرم شدن، به سطح لامپ منتقل میشوند. این موضوع باعث ایجاد مشکلاتی برای ویفرها میشود.
برای جلوگیری از این مشکل، لامپهای UHP ما از فرآیندهای شیمیایی خاصی برای حذف تمام ناخالصیها استفاده میکنند. وقتی این لامپها را در سیستم خود استفاده میکنید، گرمای قوی تولید میشود، اما بدون هیچ آلودگی. لنزها تمیز باقی میمانند و ویفرها نیز سالم میمانند.
راز، در سیستم درزبندی است
بیشتر لامپها در بخش درزبندی دچار مشکل میشوند. بسیاری از تولیدکنندگان از چسبهای آلی یا چسبهای ارزانقیمت استفاده میکنند، اما این چسبها در همان لحظهای که گرم میشوند، گازات آلی تولید میکنند.
ما این کار را نمیکنیم؛ ما از درزبندیهای شیشهای-فلزی با دمای بالا استفاده میکنیم. این روش باعث میشود گازهای هالوژنی در داخل لامپ باقی بمانند و جهان خارج از لامپ نتواند وارد شود. ما میتوانیم فرمتاتورهای لامپها را تنظیم کنیم تا با رکهای موجود سازگار شوند، اما جادوی واقعی در شیمی داخل لامپ است.
چند هشدار مهم
کوارتز UHP از نظر شیمیایی بیاکتیو است، اما نسبت به روغنهای سطحی بسیار حساس است.
اگر افراد در حین نصب لامپ، آن را با دستان خالی لمس کنند، نمکها و روغنهای موجود در پوست آنها باعث ایجاد «نقاط گرم» میشود. این نقاط باعث ایجاد استرس حرارتی میشوند و در نهایت لامپ میترکد. این مشکلی است که نمیخواهید داشته باشید. مطمئن شوید که همه از دستکشهای بدون الیاف استفاده کنند و از الکل ایزوپروپیل برای تمیزکاری استفاده کنند.
همچنین، مراقب سیستم خنککننده لامپ نیز باشید؛ زیرا این لامپها برای استفاده در شرایط بسیار دقیق طراحی شدهاند، بنابراین توان حرارتی آنها بسیار بالاست. حتماً فنهای خنککننده یا سیستمهای آبی لامپ را بررسی کنید. اگر بدنه لامپ دچار گرمای بیش از حد شود، مشکلاتی پیش خواهد آمد.