সম্পূর্ণ নির্মল অবস্থা বজায় রাখা: শূন্য-দূষণযুক্ত হিটিং
কল্পনা করুন, এমন একটি ক্লিনরুম, যেখানে একটি ক্ষুদ্র ধূলিকণাও গ্রহণযোগ্য নয়। সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদনে এটাই বাস্তবতা।
তাই, এই ধরনের পরিবেশে তাপ প্রয়োজন হলে, হিটারটিই যেন সমস্যার কারণ না হয়। ঠিক এই কারণেই আমরা আমাদের কোয়ার্টজ ইনফ্রারেড ল্যাম্পগুলোকে সম্পূর্ণরূপে সীলযুক্ত, নির্জীব সিস্টেম হিসেবে তৈরি করেছি। এটি কোনো ধূলিকণা বা গ্যাস নির্গত না করেই তীব্র ও নির্দিষ্ট তাপ সরবরাহ করে।
শক্তি ও আকার – বাস্তব যন্ত্রগুলোর জন্য ডিজাইন
আমরা এই ল্যাম্পগুলোকে ছোট জায়গায় ব্যবহারের জন্য ডিজাইন করেছি; আপনার বর্তমান যন্ত্রগুলোর সাথেও এগুলো কাজ করতে পারে। একটি সাধারণ ইউনিট ৪০০ভোল্ট ও ২৫০০ওয়াট শক্তিতে কাজ করে; এটি ৩০০মিমি আকারের টিউবে রয়েছে।
এর ফলে ছোট জায়গায়ই প্রচুর তাপ পাওয়া যায়; ফলে প্রক্রিয়ার প্রয়োজন অনুযায়ী দ্রুত তাপমাত্রা বৃদ্ধি করা যায়। ৪০০ভোল্ট রেটিংটি কোনো কাকতালীয় ব্যাপার নয় – এর মানে হলো ল্যাম্পটি সাধারণ শিল্পীয় বিদ্যুত সরবরাহ সিস্টেমের সাথে সরাসরি সংযুক্ত হয়; ফলে মেশিনে বড় ট্রান্সফরমার ব্যবহারের দরকার হয় না।
ক্লিনরুম-গ্রেড কোয়ার্টজ
ল্যাম্পটির কোরটি উচ্চ-ঘনত্বের কোয়ার্টজ দিয়ে তৈরি। ধাতুর বিপরীতে, কোয়ার্টজ চরম তাপেও রাসায়নিকভাবে নির্জীব থাকে; ফলে এটি অক্সিডাইজ হয় না, আর কোনো ধূলিকণাও তৈরি হয় না।
ভিতরে, শর্টওয়েভ ইনফ্রারেড ফিলামেন্টটি দ্রুত ও নির্দিষ্ট তাপ সরবরাহ করে। আমরা পুরো ল্যাম্পটিকে একটি বিশেষ R7s কানেক্টর দিয়ে সীল করেছি; এর ফলে ল্যাম্পটি স্থির অবস্থায় থাকে। এর ফলে কোনো ধূলিকণা তৈরি হয় না।
সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদনের জন্য উপযুক্ত
সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদনের জন্য সিস্টেমটি অবশ্যই পরিষ্কার, সরল এবং তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণে সক্ষম হতে হবে। কোয়ার্টজ অ্যানভেলপটি তাপীয় ধাক্কা সামলাতে সক্ষম; ফলে ব্যাচ প্রক্রিয়ার জন্য দ্রুত চালু/বন্ধ করার প্রক্রিয়াগুলো সম্ভব হয়।
আর যেহেতু ইনফ্রারেড রশ্মি সরাসরি লক্ষ্যবস্তুকে উত্তপ্ত করে – চারপাশের বাতাসকে নয় – তাই বাতাসের গতি কম থাকে; ফলে ধূলিকণাগুলো উড়ে যায় না।
এই ধরনের শক্তি ঘনত্বের ফলে ৩০০মিমি আকারের জায়গায়ই প্রচুর তাপ পাওয়া যায়। তাই মেশিনের কুলিং ও তাপ নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থা অবশ্যই দক্ষ হতে হবে। এভাবেই আমরা তাপটিকে ঠিক সেখানেই রাখি, আর কোনো ধরনের দূষণ সেখানে পৌঁছায় না।