CMP-এর পরের ধোয়ার প্রক্রিয়ায় অতিসূক্ষ্ম ফোঁটাগুলো থেকে যায়। যদি শুকানোর প্রক্রিয়াটি ভুল হয়ে যায়, তাহলে এগুলো ত্রুটিতে পরিণত হয়। তাপমাত্রা এক ডিগ্রি পরিবর্তিত হলেই ফটোরেজিস্টের আচরণ পরিবর্তিত হয়ে যায়। উত্তপ্ত অবস্থায় কণা উৎপন্ন হলে উৎপাদন কমে যায়। তাই প্রয়োজন হয় এমন তাপমাত্রা, যা নির্ধারিত সীমার মধ্যে থাকে এবং যা পরিষ্কার থাকে।
কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা CMP-এর পরের প্রক্রিয়ার জন্য এই হিটারটি তৈরি করেছি। হ্যালোজেন ল্যাম্পগুলো দ্রুত ও স্থিতিশীল প্রতিক্রিয়া দেয়; আর কোয়ার্টজ উইন্ডোগুলো চেম্বারকে ল্যাম্প থেকে আলাদা রাখে, ফলে কণার সংখ্যা কম থাকে। ওয়েফারের উপর তাপমাত্রার একঘেয়েতা ±0.1°C এর মধ্যে থাকে; আর রান-টু-রান পুনরাবৃত্তির ক্ষেত্রে এটা ±0.2°C এর চেয়ে ভালো। সফট বেক ও হার্ড বেক উভয় ক্ষেত্রেই তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করা হয়, যাতে ক্রিটিক্যাল ডাইমেনশন ও প্রোফাইল অপরিবর্তিত থাকে। এই সিস্টেমটি ক্লিনরুম ক্লাস 1–100 এর জন্য উপযুক্ত; আর প্রতিটি উপাদান নির্বাচন করা হয়েছে যাতে গ্যাস নির্গমন ও অন্যান্য সমস্যা কম হয়। পাওয়ার সরবরাহটি প্ল্যাটফর্মের সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ; আর ইন্টারফেসটি এমনভাবে তৈরি করা হয়েছে যাতে এটা বিদ্যমান টুলগুলোর साथ সহজেই সংযুক্ত হয়।
কেন এটি ব্যবহারে কার্যকর?
CMP-এর পরের শুকানোর প্রক্রিয়ায় হিটারটি ওয়েফার থেকে অবশিষ্ট আর্দ্রতা অপসারণ করতে হয়; কিন্তু দ্রবণগুলোকে অতিরিক্ত দ্রুত চালানো যাবে না। এই নিয়ন্ত্রণের ফলে ওয়েফারের কিনারায় কোনো সমস্যা দেখা দেয় না; আর পরিষ্কার অবস্থার ফলে পৃষ্ঠের কণার সংখ্যা নিয়ন্ত্রণে থাকে। এর ফলে লিথোগ্রাফির ফলাফল আরও ভালো হয়, পুনরাবৃত্তির পরিমাণ কমে যায়, আর সাইকেল সময়ও নির্ধারণ করা যায়। কার্যকর ল্যাম্প অপারেশন ও স্মার্ট থার্মাল ম্যানেজমেন্টের মাধ্যমে শক্তি ব্যবহার নিয়ন্ত্রণ করা হয়; ফলে অপারেশন খরচ কমে যায়, আর উৎপাদন গতি কমে যায় না। এটি ২৪/৭ কাজ করার জন্য ডিজাইন করা হয়েছে; আর অপ্রত্যাশিত বন্ধের ঝুঁকি কমানোর জন্য উপযুক্ত উপাদানগুলো ব্যবহার করা হয়েছে।
কী বিষয়গুলো বিবেচনা করা দরকার?
ইনস্টলেশনের ক্ষেত্রে চেম্বারের জ্যামিতি ও বায়ুপ্রবাহ বিবেচনা করা দরকার। আমরা মাউন্টিং কিট ও থার্মাল প্রোফাইল ম্যাপ সরবরাহ করি; কিন্তু কমিশনিংয়ের সময় আবারও সঠিকভাবে অ্যালাইনমেন্ট যাচাই করতে হয়। পার্টসগুলো চেম্বারে আসার সাথে সাথেই ক্লিনরুম নিয়ম ও স্ট্যাটিক কন্ট্রোল মেনে চলা দরকার। হিটারটি নির্ধারিত তাপমাত্রার মধ্যেই কাজ করে; এই সীমার বাইরে গেলে থার্মাল কন্ট্রোল কমে যায়। ল্যাম্পের জীবনকাল ও উইন্ডো পরীক্ষার সময়সীমা বিবেচনা করেই সিস্টেমটি চালানো উচিত।