http://ir-heat-lamp-pro.com/zh/tags/cmp/ Recent content in CMP on Professional IR Heating Lamps Hugo zh Mon, 29 Jun 2026 07:06:43 +0800 http://ir-heat-lamp-pro.com/zh/posts/post-cmp-wafer-drying-heater/ Mon, 29 Jun 2026 07:06:43 +0800 http://ir-heat-lamp-pro.com/zh/posts/post-cmp-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-heat-lamp-pro.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="CMP后的晶圆干燥加热器"></p> <p>在CMP处理之后，如果干燥过程出现偏差，残留的微小水滴就会变成缺陷。即使温度只上升1度，光刻胶的性能也会发生变化。如果在加热过程中还产生颗粒物，那么产品的良率就会下降。因此，需要确保温度控制在适当的范围内，并且保持环境的清洁。</p>