Đèn hồng ngoại chống nước cho việc rửa.

Fri, 05 Jun 2026 04:08:19 +0800

Trên bàn ướt, những gradient nhiệt độ do rửa tạo ra là loại yên tĩnh - loại mà lặng lẽ làm giảm năng suất. Các bộ gia nhiệt tiêu chuẩn không thể làm khô các tấm wafer một cách sạch sẽ mà không để lại các giọt ở cạnh hoặc làm căng thẳng lớp photoresist. Khi độ đồng nhất nhiệt độ trôi dạt, dây chuyền dừng lại. Thế thôi.

Kiểm soát nhiệt độ dưới milimet với gia nhiệt hồng ngoại
Chúng tôi đã xây dựng các bóng đèn hồng ngoại chống thấm nước cho giai đoạn rửa xung quanh sóng hồng ngoại ngắn, vì vậy lĩnh vực nhiệt được kiểm soát xuống đến quy mô dưới milimet. Dải phát ra được điều chỉnh để phản hồi nhanh và các hồ sơ nhiệt độ có thể lặp lại, giữ cho độ đồng nhất ở cấp độ wafer trong khoảng ±0.1°C trên bề mặt hoạt động. Đây không phải là con số trong phòng thí nghiệm - nó đến từ việc kiểm soát đầu ra quang phổ, khoảng cách chính xác giữa bóng đèn và wafer, và quản lý nhiệt độ theo vòng kín.

Rửa Sạch on Professional IR Heating Lamps

Đèn hồng ngoại chống nước cho việc rửa.