http://ir-heat-lamp-pro.com/uk/tags/emitter/ Recent content in Emitter on Professional IR Heating Lamps Hugo uk Mon, 01 Jun 2026 02:30:15 +0800 http://ir-heat-lamp-pro.com/uk/posts/halogen-ir-emitter-for-wafer-drying/ Mon, 01 Jun 2026 02:30:15 +0800 http://ir-heat-lamp-pro.com/uk/posts/halogen-ir-emitter-for-wafer-drying/ <p><img src="http://ir-heat-lamp-pro.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Галогеновий ІЧ випромінювач для сушіння пластин"></p> <p>На лінії 300 мм цикл обертального сушіння завершується, а пластина залишається вологою — вода затримується у структурах, по краях утворюються краплі. Обробка звичайною гарячою плитою ризикує створити повільне, нерівномірне нагрівання, що залишає краплі. Швидке продування повітрям призводить до появи часток. У будь-якому випадку, наступний шар літографії опиняється під загрозою дефектів через мікрозабруднення.</p> <p>Сушіння пластин — це не «приємність», а контрольований етап видалення вологи з термічним профілем, який має бути повторюваним, чистим і враховувати витрати. У процесах нанесення фоторезисту залишкова волога порушує і м’яке, і жорстке запікання, що призводить до коливань розмірів критичних елементів та профілю бокової стінки. Джерело тепла має швидко досягати заданої температури, підтримувати рівномірність по всій пластині та не додавати забруднень.</p>