http://ir-heat-lamp-pro.com/tr/tags/halojen/ Recent content in Halojen on Professional IR Heating Lamps Hugo tr Mon, 01 Jun 2026 02:30:15 +0800 http://ir-heat-lamp-pro.com/tr/posts/halogen-ir-emitter-for-wafer-drying/ Mon, 01 Jun 2026 02:30:15 +0800 http://ir-heat-lamp-pro.com/tr/posts/halogen-ir-emitter-for-wafer-drying/ <p><img src="http://ir-heat-lamp-pro.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Wafer kurutma için halojen IR yayıcı"></p> <p>300 mm hattında, spin kurutucu döngüsü sona erdiğinde wafer hâlâ ıslak kalır—özelliklerde su kalır, kenarlarda su damlacıkları oluşur. Geleneksel bir sıcak plakaya maruz bırakmak, damlacıklar bırakan yavaş ve düzensiz bir ısı artışı riski taşır. Hızlı bir hava üfleme yöntemi tercih edilirse partikül bulaşması riski doğar. Her iki durumda da bir sonraki litografi katmanı, tek bir mikro-kontaminantla bile verim kaybına yol açabilir.<br> Wafer kurutma “iyi olur” türünden bir işlem değildir. Tekrarlanabilir, temiz ve maliyet bilincine sahip bir termal profil ile kontrollü bir nem giderme aşamasıdır. Fotoresist işleminde kalan nem, hem soft bake hem hard bake aşamalarını etkiler; kritik boyut kontrolü ve yan duvar profili sapmaya başlar. Isı kaynağı, hızlı bir şekilde hedef sıcaklığa ulaşmalı, wafer üzerinde uniform kalmalı ve kontaminasyon eklememelidir.</p>