http://ir-heat-lamp-pro.com/tr/tags/foto-diren%C3%A7/ Recent content in Foto Direnç on Professional IR Heating Lamps Hugo tr Fri, 26 Jun 2026 05:04:06 +0800 http://ir-heat-lamp-pro.com/tr/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ Fri, 26 Jun 2026 05:04:06 +0800 http://ir-heat-lamp-pro.com/tr/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-lamp-pro.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="Fotorezist yumuşatma lambası"></p> <p>Litografi işlemlerinde “yumuşak pişirme” işlemi sadece bir ısınma işlemi değildir. Bu işlem, fotoresistin profilini belirleyen, çözücüleri uzaklaştıran ve sonraki adımlar için gerekli olan çizgi genişliği kontrolünü sağlayan bir ön koşuldur. <a href="https://henruite.com">Lamba</a> düzgün çalışmaz hale geldiğinde bunu hızlıca anlarsınız; kenarlarda bozulmalar meydana gelir, arayüzlerde sorunlar ortaya çıkar ve wafeler, ölçüm cihazları tarafından tespit edilmeden çok önce zarar görür. Biz de bu tür değişkenlikleri ortadan kaldırmak için özel bir lamba geliştirdik.</p> <p><strong>Teknik açıdan önemli olan şeyler:</strong> Kvartz kutu içinde çalışan halojen kısa dalga kaynağı sayesinde hızlı ve lokal ısıtma sağlanır. Böylece wafelerin yüzeyindeki sıcaklık farkı ±0,1°C civarında kalır ve her seferinde tekrarlanabilir sıcaklık değerleri elde edilir. Tasarım, düşük gaz salınımı ve sabit çalışma sırasında partikül üretiminin sıfırda kalması sayesinde Class 1–100 temiz odalarla uyumlu olur. Böylece plansız duruşlar olmadan 7/24 güvenilir çalışma sağlanır ve 5.000 saatten fazla süre boyunca %5’ten daha az yoğunluk değişikliği ile istikrarlı performans elde edilir.</p>