http://ir-heat-lamp-pro.com/tr/tags/cmp/ Recent content in CMP on Professional IR Heating Lamps Hugo tr Mon, 29 Jun 2026 07:06:42 +0800 http://ir-heat-lamp-pro.com/tr/posts/post-cmp-wafer-drying-heater/ Mon, 29 Jun 2026 07:06:42 +0800 http://ir-heat-lamp-pro.com/tr/posts/post-cmp-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-heat-lamp-pro.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="CMP sonrası wafer kurutma ısıtıcısı"></p> <p>CMP işleminin ardından gerçekleşen kurutma işlemi sırasında mikro damlacıklar oluşur ve eğer kurutma sürecindeki <a href="https://goldisgood.com">parametreler</a> değişirse bu damlacıklar kusurlara dönüşebilir. Sıcaklığı bir derece bile artırırsanız, bir sonraki kurutma işleminde fotorezistanın davranışı değişir. Isıtma sırasında parçacık üretimi de meydana gelir ve bu da ürün kalitesini düşürür. Gerekli olan şey, belirlenen sıcaklık aralığında kalan ve temiz olan bir ısıtmadır.</p> <p><strong>Arka planda önemli olan faktörler</strong><br> Bu ısıtıcıyı, CMP işleminin ardından gereken dar sıcaklık aralığı için tasarladık. Halogen lambalar hızlı ve stabil bir tepki verirken, kuvars pencere ise odanın <a href="https://o-yate.com">lamba</a> gövdesinden ayrılmasını sağlayarak parçacık sayısını düşük tutar. Wafer üzerindeki sıcaklık homojenliği ±0,1°C civarında olup, tekrarlanabilirlik oranı ise ±0,2°C’nin altındadır. Hem yumuşak hem de sert kurutma işlemleri için ayar noktaları hassas bir şekilde kontrol edilir; böylece kritik boyutlar ve profiller sabit kalır. Sistem, Temiz Oda Sınıfı 1–100 için uygundur ve her türlü malzeme seçimi, gaz çıkışını ve parçacık oluşumunu en aza indirmek için yapılmıştır. Güç ihtiyacı platforma göre ayarlanır ve arayüz, mevcut ekipmanlara kolayca entegre edilebilecek şekilde tasarlanmıştır.</p>