Islak masada, durulama kaynaklı sıcaklık gradyanları sessiz türdendir - verimi yavaşça yiyenlerdir. Standart ısıtıcılar, kenar damlacıkları bırakmadan veya fotoresisti strese sokmadan wafer’ları temiz bir şekilde kurutamaz. Termal homojenlik kaybolduğunda, hat durur. Nokta.
İnfrared ısıtma ile alt milimetre termal kontrolü Durulama aşaması için su geçirmez infrared lambalarımızı kısa dalga infrared etrafında inşa ettik, böylece termal alan alt milimetre ölçeğinde kontrol ediliyor. Emiter dizisi hızlı tepki ve tekrarlanabilir sıcaklık profilleri için ayarlandı, wafer düzeyinde homojenliği aktif yüzey boyunca ±0.1°C içinde tutuyor. Bu bir laboratuvar sayısı değil - kontrol edilen spektral çıktı, hassas lamba-wafer mesafesi ve kapalı döngü termal yönetiminden gelmektedir. Gerçek dünyada, bu, yumuşak pişirme ve sert pişirme koşullarınızın, agresif bir durulama döngüsünden sonra bile, tutarlılığını koruduğu anlamına gelir. Fotoresist üzerinde sürpriz yok. Yarı iletken durulama işlerinde neden başarılıdır Durulama-kurutma geçişi sırasında, lamba ihtiyaç duyduğu yerde su geçirmez kalır, böylece wafer’ı doğrudan ısıtırken elektriksel endişeleriniz olmaz. Enerji istediğiniz yere ulaşır, çevresindeki temiz oda havası ve ekipmanlarda çok daha az parazitik ısınma olur. Kazanç: daha kısa kuruma süreleri, daha düşük parçacık üretimi ve stabil kritik boyut kontrolü. Termal bütçe değişkenliği düşer, atık azalır ve hat çalışmaya devam eder. Bu üniteler 5,000+ saat çalışır ve %5’ten az bir verim kaybı yaşar, bu da 24/7 operasyon için gereklidir. Kurulum ve işletme notları Montaj toleransı sıkıdır - homojenliği korumak istiyorsanız lamba hizalamasını ±0.2 mm içinde tutun. Lamba, deiyonize su bulunduğunda en iyi performansı gösterir; kuru ateşleme sıcak noktalara neden olur ve emiter ömrünü kısaltır. Isınma esnasında biraz daha yüksek bir enerji çekimi göreceksiniz, ardından birkaç saniye içinde sabit güce oturur. Class 1–100 temiz odalarda, parçacık kontrolünü sıkı tutmak ve termal stabiliteyi gerektiği yerde sağlamak için lambayı belirtilen egzoz ve koruma ile eşleştirin.