SEM zemininde, kayma yapan bir örnek sahası veya istikrarsız bir fotoğrafik direnç pişirme profili, ürün veriminizi sessizce azaltacaktır. Okumada küçük görünen sıcaklık dalgalanmaları, saatler sonra ortaya çıkan hatalı hat genişlikleri ve yükleme artefaktlarına dönüşür. Kızılötesi SEM ısıtıcılarımızı bu kaymayı kaynağında ortadan kaldırmak için inşa ettik.
Teknik Olarak Ne Önemli Kısa dalga kızılötesi kullanarak, aktif alan boyunca sıkı bir eşitlik ile sub-milimetre termal alan oluşturuyoruz. Pratikte bu, sıcak pişirme ve sert pişirme profillerinizin sıcak noktalar olmadan veya kenarların yeterince pişirilmeden tekrarlanmasını sağlayan, dar bir bantta kalan wafer seviyesinde sıcaklık kontrolü anlamına gelir. Tepki hızlıdır, bu nedenle ayar noktalarını değiştirdiğinizde sistem hızlı bir şekilde yerleşir ve tekrar edilebilirliği her seferinde korur. Temiz oda kullanımı için tasarlanmıştır; malzemeler ve yapı, parçacık oluşumunu azaltır. Bu Neden Litografi Yanında Muayene ve Metrolokasyon İçin Etkilidir Termal geçmişin tutarlı olması gerekir. Stabil, eşit bir ısı profili, CD değişkenliğini azaltır, görüntü tekrarlanabilirliğini artırır ve termal eşitsizlikten kaynaklanan atık miktarını azaltır. Daha kısa ısınma pencereleri, daha az yeniden pişirme ve planlayabileceğiniz işlem süreleri elde edersiniz. Enerji kullanımı düşer çünkü ısıtıcı ayar noktasına ulaşır ve bunu verimli bir şekilde korur; güvenilirliği ise haftanın 7 günü, günde 24 saat çalışmaya uygun şekilde tasarlanmıştır ve daha az beklenmedik duraklama ile çalışır. Önceden Bilmeniz Gerekenler Kurulum, sahne uyumluluğu ve boşluk ile ilgilidir. Isıtıcının, o eşitlik profilini korumak için örnek düzlemine tam olarak hizalanması gerekir. Belirli örnek yığınınız için emisyon katsayısını ve tarama hızını ayarlamak amacıyla hızlı bir devreye alma adımı bekleyin. Hizalandıktan sonra, minimum bakım ile çalışır; ancak sahne geometrisinde veya kaplamalarda herhangi bir değişiklik yaparsanız, termal haritayı yeniden doğrulamanız gerekecektir.