ในกระบวนการผลิตฟอโตรีสิสต์ การอบฟอโตรีสิสต์ไม่ใช่เพียงขั้นตอนหนึ่งเท่านั้น แต่ยังถือเป็นกระบวนการควบคุมอุณหภูมิอย่างแท้จริงด้วย...

On the fab floor, the photoresist bake isn’t just another step. It’s the gate. One temperature excursion, one particle event, and you can lose a lot...