Лампа для мягкой обработки фотополимера

Fri, 26 Jun 2026 05:04:05 +0800

На этапе литографии процедура мягкой обработки никогда не является просто разминкой. Это важное условие, которое обеспечивает стабильность профиля фоторезиста, помогает удалить растворители и позволяет контролировать толщину линий на пластине в дальнейшем. Когда лампа начинает работать неэффективно, это быстро становится заметным: появляются неоднородности на краях пластины, возникают отклонения, что приводит к повреждению пластин ещё до того, как средства измерений смогут это выявить. Мы спроектировали нашу лампу так, чтобы устранить эти отклонения.

Что имеет значение с технической точки зрения
Мы используем галогенный источник света короткой длины волны, расположенный в кварцевом корпусе. Это позволяет достичь быстрого и локализованного нагрева при минимальной тепловой инерции. Благодаря этому достигается однородность температуры на всей поверхности пластины в пределах ±0,1°C, а также возможность повторения процедуры обработки с одинаковыми результатами. Дизайн лампы позволяет использовать её в чистых комнатах класса 1–100, поскольку она снижает уровень выделения газов и полностью исключает образование частиц во время работы. Это обеспечивает надежную работу лампы 24/7 без неplанированных перерывов, а также стабильную производительность в течение более 5 000 часов с отклонением интенсивности света менее 5%.

Мягкий on Professional IR Heating Lamps

Лампа для мягкой обработки фотополимера