http://ir-heat-lamp-pro.com/ru/tags/%D0%B8%D1%80/ Recent content in ИР on Professional IR Heating Lamps Hugo ru Mon, 01 Jun 2026 02:30:14 +0800 http://ir-heat-lamp-pro.com/ru/posts/halogen-ir-emitter-for-wafer-drying/ Mon, 01 Jun 2026 02:30:14 +0800 http://ir-heat-lamp-pro.com/ru/posts/halogen-ir-emitter-for-wafer-drying/ <p><img src="http://ir-heat-lamp-pro.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Галогенный ИК излучатель для сушки пластин"></p> <p>На 300 мм линии цикл центрифужной сушки завершается, а пластина всё ещё влажная — вода застряла в рельефах, образуются капли на краях. Использование обычной горячей плиты ведёт к медленному и неравномерному нагреву, оставляющему капли. Быстрый обдув воздухом приводит к появлению частиц. В любом случае следующий слой литографии оказывается всего в одном микрозагрязнителе от снижения выхода годных изделий.</p> <p>Сушка пластин — это не «приятная опция». Это контролируемый этап удаления влаги с заданным термическим профилем, который должен быть повторяемым, чистым и экономически оправданным. В процессе обработки фоторезиста остаточная влага влияет на как мягкий, так и жёсткий отжиг, что приводит к отклонениям по контролю критических размеров и профилю боковой стенки. Источник тепла должен быстро достигать заданной температуры, обеспечивать равномерность по поверхности пластины и не вносить загрязнения.</p>