Emissor de IR halogênio para secagem de wafers
Na linha de 300 mm, o ciclo do secador por centrifugação termina e a pastilha ainda está úmida—água retida em cavidades, água formando gotas nas...
Calor de alta precisão para IR de wafer
No chão de fábrica, o cluster de litografia continua em movimento, sem botão de pausa. A esteira alimenta a pastilha, o resist gira, a borda é...