http://ir-heat-lamp-pro.com/pl/tags/cmp/ Recent content in CMP on Professional IR Heating Lamps Hugo pl Mon, 29 Jun 2026 07:06:43 +0800 http://ir-heat-lamp-pro.com/pl/posts/post-cmp-wafer-drying-heater/ Mon, 29 Jun 2026 07:06:43 +0800 http://ir-heat-lamp-pro.com/pl/posts/post-cmp-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-heat-lamp-pro.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="Grzaniec do suszenia płytek CMP"></p> <p>Podczas procesu mycia po CMP pozostają małe kropelki wody, które mogą przekształcić się w defekty, jeśli profil suszenia się zmieni. Nawet niewielka zmiana temperatury może wpłynąć na zachowanie fotoopornika podczas kolejnego procesu suszenia. Dodatkowo, powstanie cząsteczek podczas ogrzewania negatywnie wpływa na jakość produktu. Potrzebna jest temperatura, która mieści się w określonym zakresie i nie powoduje żadnych problemów.</p> <p><strong>Co jest ważne w praktyce</strong> Stworzyliśmy ten grzejnik tak, aby spełniał wymagania stawiane mu w fazie po CMP. Lampa halogenowa zapewnia szybką i stabilną reakcję, a szklane okno izoluje komorę od samej lampy, dzięki czemu liczba cząsteczek pozostaje na niskim poziomie. Jednolitość temperatury na całej powierzchni płytki wynosi ±0,1°C, a powtarzalność między kolejnymi procesami usunięta jest na poziomie poniżej ±0,2°C. Ustawienia temperatury są precyzyjnie kontrolowane zarówno podczas procesu delikatnego, jak i intensywnego suszenia, dzięki czemu wymiary i profil płytki pozostają niezmienne. System nadaje się do używania w pomieszczeniach klasy 1–100, a każdy wybrany materiał ma na celu minimalizację emisji gazów i uszkodzeń powierzchni płytki. Moc grzejnika jest dostosowana do specyfikacji platformy, a <a href="https://henruite.com">interfejs</a> umożliwia łatwe połączenie z istniejącym sprzętem.</p>