Na podłodze SEM, dryfująca scena próbki lub niestabilny profil wypieku fotooporu cicho obniżą Twój wskaźnik wydajności. Odchylenia temperatury, które na odczycie wyglądają na niewielkie, przekładają się na błędy szerokości linii oraz artefakty wynikające z naładowania, pojawiające się kilka godzin później. Nasze podczerwone grzałki SEM zostały zaprojektowane, aby eliminować ten dryf u źródła.
Co ma znaczenie technicznie
Używamy krótkofalowej podczerwieni do wygenerowania pola termicznego o rozmiarach poniżej milimetra z wysoką jednorodnością w obrębie aktywnej strefy. W praktyce oznacza to kontrolę temperatury na poziomie całej płytki krzemowej utrzymywaną w wąskim zakresie — dzięki temu profile wypieku miękkiego i twardego są powtarzalne bez gorących punktów lub niedopiekania krawędzi. Reakcja jest szybka, więc przy zmianie nastaw system szybko się ustala i utrzymuje powtarzalność z cyklu na cykl. Konstrukcja przystosowana jest do pracy w warunkach cleanroom, z materiałami i wykonaniem minimalizującymi generowanie cząstek.
Dlaczego to działa w inspekcji i metrologii powiązanej z litografią
Historia termiczna musi być stabilna. Stabilny, jednorodny profil cieplny redukuje zmienność CD, poprawia powtarzalność obrazu oraz zmniejsza ilość odpadów wynikających z termicznej nierównomierności. Uzyskuje się krótsze czasy nagrzewania, mniej powtórnych wypieków oraz stabilne czasy cykli umożliwiające planowanie produkcji. Zużycie energii spada, ponieważ grzałka szybko osiąga zadaną temperaturę i utrzymuje ją efektywnie. Niezawodność jest zaprojektowana do pracy 24/7 z mniejszą liczbą nieplanowanych przestojów.
Co należy wiedzieć na początku
Montaż sprowadza się do kompatybilności sceny i miejsca na montaż. Grzałka musi być precyzyjnie wyrównana względem płaszczyzny próbki, aby zachować profil jednorodności. Należy się spodziewać krótkiego etapu uruchomienia, podczas którego dostrojona zostanie emisja i prędkość skanowania dla konkretnego stosu próbek. Po ustawieniu działa z minimalną konserwacją, ale w przypadku zmiany geometrii sceny lub powłok konieczna będzie ponowna weryfikacja mapy termicznej.