http://ir-heat-lamp-pro.com/nl/tags/warmte/ Recent content in Warmte on Professional IR Heating Lamps Hugo nl Sun, 31 May 2026 04:51:34 +0800 http://ir-heat-lamp-pro.com/nl/posts/high-precision-heat-for-wafer-ir/ Sun, 31 May 2026 04:51:34 +0800 http://ir-heat-lamp-pro.com/nl/posts/high-precision-heat-for-wafer-ir/ <p><img src="http://ir-heat-lamp-pro.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Hoge precisie warmte voor wafer IR"></p> <p>Op de productievloer blijft de lithografiecluster doorgaan, zonder pauzeknop. De track voert de wafer aan, de resist draait, de edge bead wordt verwijderd en het bakken moet binnen een strak thermisch venster plaatsvinden—elke keer opnieuw. Een drift van 1°C tijdens soft bake of hard bake verschuift de kritische dimensie, verstoort swing curves en beperkt de dosismarge. Wanneer de bake-module geen uniformiteit over de wafer kan behouden, is dat snel zichtbaar: footing, scumming en opbrengstverlies die direct terug te zien zijn in de elektrische testbakken.</p>