Verwarmder voor transportwagen in halfgeleiderreinruimte

Sun, 28 Jun 2026 05:41:20 +0800

Op de productielijn weet je hoe snel temperatuurschwankingen op de rol met fotoresist leiden tot variaties in de dikte van de lijnen. Eén onnauwkeurige verhitting kan al zorgen dat een hele batch wordt weggegooid. We hebben een speciale verwarmingsunit ontworpen om deze variaties uit te sluiten. Hierdoor blijft de temperatuur van de hele batch constant, zodat de fotoresist bij elke verhitting dezelfde thermische omstandigheden heeft.

Wat belangrijk is We gebruiken kortegolf-infrarood-elementen voor een snelle en gerichte verhitting, met minimale luchtbeweging. De thermische uniformiteit blijft binnen ±0,1°C, en de herhalbaarheid ligt rond ±0,05°C per verhitting. De temperatuurstijging wordt beperkt tot 2°C/s, zodat de verhitting precies volgens plan verloopt. Het apparaat is ontworpen voor gebruik in zuiverruimten van klasse 1–100: er worden materialen gebruikt die weinig gassen afgeven, de verbindingen zijn schoon en het oppervlak heeft een zoete afwerking zodat er geen deeltjes vrijkomen. Het apparaat veroorzaakt geen extra deeltjes, zodat het aantal deeltjes binnen de gewenste grenzen blijft.

Wagentje on Professional IR Heating Lamps

Verwarmder voor transportwagen in halfgeleiderreinruimte