http://ir-heat-lamp-pro.com/nl/tags/halogeen/ Recent content in Halogeen on Professional IR Heating Lamps Hugo nl Mon, 01 Jun 2026 02:30:14 +0800 http://ir-heat-lamp-pro.com/nl/posts/halogen-ir-emitter-for-wafer-drying/ Mon, 01 Jun 2026 02:30:14 +0800 http://ir-heat-lamp-pro.com/nl/posts/halogen-ir-emitter-for-wafer-drying/ <p><img src="http://ir-heat-lamp-pro.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Halogeen IR straler voor waferdrogen"></p> <p>Op de 300 mm-lijn draait de spin-droger af en is de wafer nog steeds nat—water gevangen in structuren, waterparels aan de randen. Gebruik je een conventionele hete plaat, dan loop je het risico op een trage, ongelijkmatige opwarming die waterparels achterlaat. Kies je voor een snelle luchtafblazing, dan nodig je deeltjes uit. Hoe dan ook, de volgende lithografielaag ligt één microverontreiniging verwijderd van een opbrengstvermindering.</p> <p>Waferdrogen is geen “nice to have.” Het is een gecontroleerde stap voor vochtverwijdering met een thermisch profiel dat herhaalbaar, schoon en kostenefficiënt moet zijn. Bij fotolakverwerking beïnvloedt achtergebleven vocht zowel de soft bake als de hard bake, wat leidt tot afwijkingen in kritieke dimensiecontrole en het zijwandprofiel. De warmtestraal moet snel de gewenste temperatuur bereiken, uniform blijven over de wafer en geen verontreiniging toevoegen.</p>