Drogen on Professional IR Heating Lamps

Energieaudit voor droging van fabriek

Tue, 28 Jul 2026 05:21:13 +0800

Stop met het toestaan dat uw verwarmers schade toebrengen aan uw producten.
In een zuivere omgeving van klasse 100 is al één klein stofdeeltje voldoende om een hele lading producten te vernietigen. Het is een nachtmerrie. De meeste standaardverwarmers maken juist deel uit van het probleem: ze geven afvalstoffen af die zich precies op de plekken bevinden waar ze niet thuishoren.

Daarom gebruiken we hoogzuivere synthetische kwarts-IR-lampen. Ze produceren stralingswarmte, zodat er geen geforceerde luchtcirculatie is die vuil op de producten blazen. Het is dus gewoon schone, directe warmte.

Verhitter voor het drogen van CMP wafers

Mon, 29 Jun 2026 07:06:43 +0800

Tijdens het proces na CMP blijven er mikrodruppels over die defecten kunnen veroorzaken als het droogproces niet perfect verloopt. Als de temperatuur zelfs maar één graad verschilt, verandert het gedrag van de fotoresist tijdens het volgende droogproces. Bovendien leidt het ontstaan van deeltjes tijdens het opwarmen tot een verminderde kwaliteit van het product. Er is dus behoefte aan een temperatuur die binnen de benodigde grenzen blijft en die bovendien schoon blijft.

Wat belangrijk is We hebben deze heater ontworpen voor de beperkte mogelijkheden die er na CMP zijn. Halogeenlampen zorgen voor een snelle en stabiele reactie, terwijl het kwartsvenster de kamer scheidt van de lamp zelf, zodat het aantal deeltjes minimaal blijft. De temperatuuruniformiteit over het hele plakje blijft binnen ±0,1°C, met een herhalbaarheid van meer dan ±0,2°C tussen verschillende batches. De instellingen worden nauwkeurig gereguleerd, zodat de belangrijke dimensies en profielen constant blijven. Het systeem is geschikt voor gebruik in schone kamers van klasse 1–100. Alle gebruikte materialen zijn zodanig gekozen dat uitgasing en het vrijkomen van deeltjes wordt geminimaliseerd. De benodigde energie wordt aangepast aan de behoeften van het apparaat, en de interface is zo ontworpen dat het gemakkelijk kan worden geïntegreerd in bestaande apparaten.

Lamp voor het drogen van zonnecelwafers

Tue, 23 Jun 2026 00:04:18 +0800

Bij het drogen van siliconenplaten is het niet genoeg om ze gewoon in een doos te plaatsen en ze te laten drogen. Het gaat om de laatste stap in het proces, voordat de structuur van de plaat definitief vastligt. Als er zelfs maar een beetje vocht achterblijft, of als de temperatuur tijdens het drogen niet stabiel blijft, kan dat leiden tot problemen als oneffenheden op het oppervlak van de plaat of afwijkingen in de afmetingen. De lamp die wordt gebruikt voor het drogen van zonnecelplaten, is ontworpen om deze problemen te voorkomen.

Halogeen IR straler voor waferdrogen

Mon, 01 Jun 2026 02:30:14 +0800

Op de 300 mm-lijn draait de spin-droger af en is de wafer nog steeds nat—water gevangen in structuren, waterparels aan de randen. Gebruik je een conventionele hete plaat, dan loop je het risico op een trage, ongelijkmatige opwarming die waterparels achterlaat. Kies je voor een snelle luchtafblazing, dan nodig je deeltjes uit. Hoe dan ook, de volgende lithografielaag ligt één microverontreiniging verwijderd van een opbrengstvermindering.

Waferdrogen is geen “nice to have.” Het is een gecontroleerde stap voor vochtverwijdering met een thermisch profiel dat herhaalbaar, schoon en kostenefficiënt moet zijn. Bij fotolakverwerking beïnvloedt achtergebleven vocht zowel de soft bake als de hard bake, wat leidt tot afwijkingen in kritieke dimensiecontrole en het zijwandprofiel. De warmtestraal moet snel de gewenste temperatuur bereiken, uniform blijven over de wafer en geen verontreiniging toevoegen.