http://ir-heat-lamp-pro.com/ms/tags/halogen/ Recent content in Halogen on Professional IR Heating Lamps Hugo ms Mon, 01 Jun 2026 02:30:15 +0800 http://ir-heat-lamp-pro.com/ms/posts/halogen-ir-emitter-for-wafer-drying/ Mon, 01 Jun 2026 02:30:15 +0800 http://ir-heat-lamp-pro.com/ms/posts/halogen-ir-emitter-for-wafer-drying/ <p><img src="http://ir-heat-lamp-pro.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Pemancar IR halogen untuk pengeringan wafer"></p> <p>Pada barisan 300 mm, kitaran spin dryer menurun dan wafer masih basah—air terperangkap dalam ciri-ciri, air berketul di tepi. Gunakan plat panas konvensional dan anda berisiko mendapat kenaikan suhu yang perlahan dan tidak sekata yang meninggalkan ketulan air. Gunakan hembusan udara cepat pula mengundang zarah. Mana-mana cara sekalipun, lapisan litografi seterusnya hanya memerlukan satu mikrokontaminan untuk menjejaskan hasil.</p> <p>Pengeringan wafer bukanlah satu langkah “sekadar elok ada.” Ia adalah langkah kawalan pengeluaran kelembapan dengan profil terma yang mesti boleh diulang, bersih, dan kos efektif. Dalam pemprosesan photoresist, kelembapan yang tinggal mengganggu kedua-dua proses soft bake dan hard bake, dan kawalan dimensi kritikal serta profil dinding sisi mula terjejas. Sumber haba mesti mencapai suhu dengan cepat, kekal seragam di seluruh wafer, dan tidak menambah kontaminasi.</p>