Di lantai SEM, tahap sampel yang terdrift atau profil pembakaran photoresist yang tidak stabil akan secara senyap mempengaruhi hasil pengeluaran anda. Penyimpangan suhu yang kelihatan kecil pada pembacaan boleh berubah menjadi kesilapan ketebalan garis dan artifak pengecasan yang muncul beberapa jam kemudian. Kami membina pemanas SEM inframerah kami untuk menghapuskan pemanduan tersebut dari sumbernya.
Apa yang penting, secara teknikal
Kami menggunakan inframerah gelombang pendek untuk menghasilkan medan terma sub-milimeter dengan keseragaman ketat merentasi zon aktif. Dalam praktiknya, ini bermaksud kawalan suhu pada tahap wafer yang kekal dalam julat yang sempit—supaya profil pembakaran lembut dan pembakaran keras berulang tanpa titik panas atau tepi yang kurang dibakar. Responnya cepat, jadi apabila anda mengubah setpoint, sistem menetap dengan pantas dan mengekalkan kebolehulangan setiap kali operasi dijalankan. Ia direka untuk penggunaan bilik bersih, dengan bahan dan pembinaan yang mengurangkan penghasilan partikel.
Mengapa ini berkesan dalam pemeriksaan dan metrologi berhampiran litografi
Sejarah terma mesti konsisten. Profil haba yang stabil dan seragam mengurangkan variabiliti CD, memperbaiki kebolehulangan imej, dan mengurangkan sisa yang disebabkan oleh ketidakseragaman terma. Anda mendapat masa pemanasan awal yang lebih singkat, lebih sedikit pembakaran semula, dan masa kitaran yang boleh dirancang dengan lebih baik. Penggunaan tenaga berkurangan kerana pemanas mencapai setpoint dan mengekalkannya dengan cekap, dan kebolehpercayaan direka untuk operasi 24/7 dengan hentian tidak dirancang yang lebih sedikit.
Apa yang anda perlu tahu terlebih dahulu
Pemasangan bergantung pada keserasian tahap dan ruang yang tersedia. Pemanas mesti diselaraskan dengan tepat pada bidang sampel untuk mengekalkan profil keseragaman itu. Sediakan langkah pengenalan yang cepat untuk melaras emissiviti dan kelajuan imbasan bagi timbunan sampel khusus anda. Setelah diselaraskan, ia beroperasi dengan penyelenggaraan minimum, tetapi jika anda mengubah apa-apa dalam geometri tahap atau salutan, anda perlu mengesahkan semula peta terma.