Di lantai pengeluaran, proses pemanasan photoresist bukan sekadar langkah biasa sahaja – ia merupakan proses yang memerlukan kawalan suhu yang tepat. Jika suhu berbeza sebanyak 2°C daripada nilai yang ditetapkan semasa proses pemanasan, ia akan menjejaskan kawalan dimensi komponen tersebut serta kadar kelulusan produk. Kami telah mencipta lampu pemanas berbahan kuarsa untuk memastikan suhu tetap stabil, dari satu kitaran ke kitaran yang lain.
Apa yang penting di sebaliknya
Bodi lampu diperbuat daripada kuarsa tulen. Kualitinya sangat tinggi, dan ia menghasilkan sedikit gas berbahaya – ini sangat penting ketika proses pemanasan berlaku dengan cepat. Unsur inframerah berfrekuensi tinggi membolehkan pemanasan yang cepat dan tepat, sehingga suhu kuarsa dapat dikawal dengan baik tanpa melebihi had yang ditetapkan. Kestabilan suhu pada seluruh permukaan kuarsa adalah sekitar ±0.1°C, dan ketepatan hasil pengeluaran juga tetap terjaga.
Dalam proses pemprosesan photoresist, kestabilan suhu ini membantu menjaga viskositi dan penghapusan pelarut pada tahap yang sesuai, sama ada semasa proses pemanasan lembut atau keras. Dalam bilik bersih kelas 1–100, reka bentuk yang tertutup dan kawalan zarah-zarah yang baik memastikan pelepasan gas berkurangan, sekaligus memudahkan proses pembersihan.
Mengapa ia penting dalam pengeluaran
Proses litografi memerlukan kawalan suhu yang ketat, dan kita tidak boleh membenarkan sebarang gangguan semasa proses pengeluaran. Lampu ini membantu menstabilkan suhu semasa proses pemanasan, mengurangkan keperluan untuk melakukan kerja pengulangan, serta mengelakkan peningkatan jumlah zarah di sepanjang proses pemanasan. Pelancaran proses yang cepat memendekkan masa yang diperlukan, sementara suhu yang stabil membantu mencapai ketepatan ukuran yang diinginkan dan mengurangkan pembaziran bahan.
Haba disalurkan mengikut keperluan, jadi kerugian tenaga minimum, dan penggunaan tenaga tetap efisien. Proses pengeluaran menjadi lebih mudah kerana prestasi pemanasan yang konsisten dari satu kitaran ke kitaran yang lain.
Apa yang perlu diingat
Semasa pemasangan, pastikan saiz lampu dan terminalnya sesuai dengan slot pemanas pada alat tersebut. Pastikan juga jarak elektrik yang cukup agar lampu dapat diservis dengan selamat. Lampu akan berfungsi dengan lebih baik apabila kuarsa yang digunakan sesuai dengan kapasiti habanya. Jika kuarsa tidak sesuai, keseragaman suhu akan terjejas.
Selepas menukar alat, biarkan lampu dipanaskan sebentar untuk memulihkan keseimbangan suhu. Ini penting untuk memastikan kestabilan suhu semasa proses pemanasan photoresist.