http://ir-heat-lamp-pro.com/ko/tags/%EB%B6%80%EB%93%9C%EB%9F%AC%EC%9A%B4/ Recent content in 부드러운 on Professional IR Heating Lamps Hugo ko Fri, 26 Jun 2026 05:04:06 +0800 http://ir-heat-lamp-pro.com/ko/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ Fri, 26 Jun 2026 05:04:06 +0800 http://ir-heat-lamp-pro.com/ko/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-lamp-pro.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="포토레지스트 소프트 베이크 램프"></p> <p>리소그래피 공정에서 소프트 베이크는 단순한 예열 과정이 아닙니다. 이는 포토레지스트의 형태를 고정시키고, 용매를 제거하며, 향후 공정에서 필요한 선권을 조절하는 데 중요한 역할을 합니다. 램프의 성능이 저하될 경우, 즉시 알아차릴 수 있습니다. 예를 들어, 가장자리 부분에 문제가 생기거나, 인터페이스 부분에서 오차가 발생하여 웨이퍼가 손상될 수 있습니다. 우리는 이러한 문제들을 해결하기 위해 특별히 설계된 소프트 베이크 램프를 개발했습니다.</p>