http://ir-heat-lamp-pro.com/ko/tags/%EB%8B%A4%EC%9D%B4%EC%98%A4%EB%93%9C/ Recent content in 다이오드 on Professional IR Heating Lamps Hugo ko Sat, 20 Jun 2026 05:51:26 +0800 http://ir-heat-lamp-pro.com/ko/posts/semiconductor-laser-diode-heater/ Sat, 20 Jun 2026 05:51:26 +0800 http://ir-heat-lamp-pro.com/ko/posts/semiconductor-laser-diode-heater/ <p><img src="http://ir-heat-lamp-pro.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="반도체 레이저 다이오드 히터"></p> <p>리소그래피 공정에서는 포토레지스트를 소성할 때 반드시 세심한 주의가 필요합니다. 소프트 베이크나 하드 베이크 과정에서 1°C만큼의 온도 변화가 생겨도 치명적인 결과를 초래할 수 있습니다. 웨이퍼에 열 불균일성이 발생하면 수율 저하, 재작업, 심지어 전체 제품의 폐기와 같은 문제가 생깁니다. 저희는 반도체 레이저 다이오드 히터를 설계할 때 웨이퍼의 온도를 ±0.1°C 이내로 유지하도록 했습니다. 이것이 바로 공정에서 허용되는 정밀도입니다.</p>