キャノン・リソグラフィ用ヒーターバルブ

Sun, 21 Jun 2026 06:19:15 +0800

ファブの現場では、フォトレジストの焼成工程において線幅の制御が重要になります。決して楽な作業ではありません。ソフトベイクやハードベイクの際に数度のずれが生じると、露光条件が悪くなり、ウェハ上の各部位の位置もずれてしまいます。キヤノンのリソグラフィー用ヒーターバルブは、この事実を踏まえて設計されています。つまり、熱的特性を安定させることで、何度繰り返しても仕様内でのプロセスが維持されるのです。

内部で重要なのは何か？

このヒーターバルブは、ミリメートル単位以下の均一性を持った赤外線加熱を行うため、ウェハ全体にわたって安定した熱環境を実現します。この形状は、端から中心までの温度差を減らし、フォトレジストの熱的範囲内に全体を保つのに役立ちます。再現性も設計上考慮されており、制御されたフィラメントの形状と安定した石英製のケースによって、毎回同じ温度が保たれます。その結果、予測可能な焼成プロファイルが得られ、重要な寸法が守られ、再作業が必要な状況が避けられます。

電球 on Professional IR Heating Lamps

キャノン・リソグラフィ用ヒーターバルブ

内部で重要なのは何か？