http://ir-heat-lamp-pro.com/ja/tags/%E7%9F%B3%E8%8B%B1/ Recent content in 石英 on Professional IR Heating Lamps Hugo ja Wed, 24 Jun 2026 04:09:02 +0800 http://ir-heat-lamp-pro.com/ja/posts/quartz-boat-heating-lamp-fab/ Wed, 24 Jun 2026 04:09:02 +0800 http://ir-heat-lamp-pro.com/ja/posts/quartz-boat-heating-lamp-fab/ <p><img src="http://ir-heat-lamp-pro.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="クォーツボート加熱ランプ工場"></p> <p>ファブラインにおいて、フォトレジストの<a href="https://o-yate.net">焼成</a>処理は単なる工程の一つに過ぎません。それは、熱による「握手」のようなものです。ソフトベイクやハードベイクの際に、わずか2℃でも目標値から外れてしまうと、重要な寸法管理や歩留まりに影響が出ます。私たちは、このような状況を維持するために、石英製の加熱ランプを開発しました。</p> <p><strong>内部で何が重要か</strong> ランプの本体は純度の高いフュージドクォーツでできており、非常にシンプルです。高純度でガス放出も少ないため、繰り返される急速な熱サイクルの中でも安定した性能を発揮します。短波長の赤外線素子により、迅速な反応と局所的な加熱が可能となり、ウェハー層が所定の温度に到達してもオーバーシュートすることはありません。また、ウェハー全体の温度<a href="https://o-yate.com">均一性</a>は±0.1℃以内に保たれ、回々の再現性も高く保たれます。</p>