http://ir-heat-lamp-pro.com/ja/tags/%E7%86%B1/ Recent content in 熱 on Professional IR Heating Lamps Hugo ja Sun, 31 May 2026 04:51:34 +0800 http://ir-heat-lamp-pro.com/ja/posts/high-precision-heat-for-wafer-ir/ Sun, 31 May 2026 04:51:34 +0800 http://ir-heat-lamp-pro.com/ja/posts/high-precision-heat-for-wafer-ir/ <p><img src="http://ir-heat-lamp-pro.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="ウェーハIRの高精度加熱"></p> <p>ファブフロアでは、リソグラフィクラスターは止まることなく稼働し続ける。トラックはウェーハを供給し、レジストは回転し、エッジビードが除去され、ベークは厳密な熱ウィンドウ内で行わなければならない——すべての通過で。ソフトベークやハードベーク中に1℃のドリフトがあると、クリティカルディメンションが変動し、スイングカーブがずれ、投与量マージンが減少する。ベークモジュールがウェーハ全体で均一性を維持できない場合、その影響はすぐに現れる：フッティング、スカミング、そして電気テストビンに現れる歩留まり低下だ。</p>