暖房 on Professional IR Heating Lamps

交換用ヒーター要素 IP65

Sun, 12 Jul 2026 09:53:45 +0800

では、IP65等級を持つ赤外線ヒーターについて話しましょう。
もしロッカールームや蒸気が満ちた更衣室を温めようとしたことがあるなら、その大変さはご存知でしょう。通常のヒーターでは、湿気に対処できません。湿気を吸収してしまい、短絡してしまったり、フィラメントがすぐに壊れてしまったりします。本当に厄介です。

ウェーハ加熱の安全距離

Sun, 12 Jul 2026 09:48:03 +0800

ウェーハを加熱する際に、状況を冷静かつ安全に保つ方法
化学的な洗浄処理を行う際にウェーハを加熱するとき、まるで綱渡りをしているようなものです。仕事を遂行するためには十分な熱が必要ですが、力を入れすぎると発火のリスクが生じます。可燃性の溶剤の近くで一般的な赤外線ランプを使用するのは危険だけでなく、重大な問題を引き起こす可能性もあります。

私たちは、専用の封止処理と、安全距離を正確に計算することによってこれに対処します。目的は単純です。つまり、ランプの表面が、その蒸気が発火するような温度に達しないようにするのです。

シールド：封止処理

私たちは単に石英管をその場所に置いておくだけではありません。私たちのランプは、密閉された外装によって保護されています。これはまるでボディーガードのようなもので、有害で腐食性のあるガスが電気端子に触れないようにしてくれます。もしランプが壊れてしまった場合でも、この封止処理によって、内部のハロゲンガスが周囲の化学物質と反応するのを防ぎます。

ウェーハ酸化用ヒーター素子

Fri, 19 Jun 2026 06:06:05 +0800

ファブの現場では、わずかな温度変動が大きな問題につながることをすぐに理解できます。酸化処理中にウェーハの温度が0.5℃変動するだけでも、ゲート酸化膜の完全性が損なわれてしまいます。リソグラフィーにおいても、数度の温度偏差があるだけで線幅にばらつきが生じます。熱的な再現性は単なる望ましい特性ではなく、プロセス自体の重要な要素です。

実際に重要なのは何か 私たちは、短波長赤外線を利用したクォーツ式の加熱装置を使用しています。これにより、迅速な応答性と低い熱容量が得られます。このシステムにより、ウェーハキャリア全体で±0.1℃の安定した温度管理が可能であり、負荷が変わっても設定温度を維持できます。また、クラス1～100のクリーンルームでも問題なく使用でき、粒子の発生やガス放出を抑えるために適切な材料や接続部品が選ばれています。フォトレジストの焼成処理も厳格な公差範囲内で行われるため、重要な寸法の制御が可能となり、不良品の発生も減少します。