http://ir-heat-lamp-pro.com/ja/tags/%E5%A4%A7%E6%B0%97/ Recent content in 大気 on Professional IR Heating Lamps Hugo ja Tue, 30 Jun 2026 05:07:26 +0800 http://ir-heat-lamp-pro.com/ja/posts/controlled-atmosphere-bake-lamp/ Tue, 30 Jun 2026 05:07:26 +0800 http://ir-heat-lamp-pro.com/ja/posts/controlled-atmosphere-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-lamp-pro.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="制御雰囲気焼成ランプ"></p> <p>リソグラフィーの工程において、私たち二人ともよく知っているのは、焼成<a href="https://o-yate.com">処理</a>が単なる<a href="https://henruite.com">加熱処理</a>ではなく、実際には歩留まりを左右する重要な要素だということです。ソフトベイク時に2℃の<a href="https://goldisgood.com">温度</a>変動があれば、それはすぐにCDUの増加として現れます。ハードベイク時のホットスポットは、ウェーハ上で歩留まりの低下を引き起こす要因となります。そうした不確実性を排除するために、私たちは制御された雰囲気下での焼成用ランプを開発しました。</p> <p><strong>内部で何が重要か</strong> このランプは、石英製のケース内で短波長の赤外線を使用しており、表面を迅速に加熱しながらも、過度な加熱を防ぎます。焼成エリア全体でのウェーハの均一性は±0.1℃以内に保たれ、各ロットごとの再現性も確認されます。雰囲気は密閉されており、制御されているため、N₂や乾燥空気、酸素濃度を調整した混合ガスを使用しても、焼成プロファイルは一定に保たれます。</p>